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タイプ 高電圧・高電流 電極 無酸素銅 フランジ材質 SUS 304 スリーブ コバール® 絶縁体 アルミナセラミック 最高温度 450℃ 最低温度 -196℃ リークレート <1.3x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec 絶縁抵抗値 10⁹ ohm 耐電圧: DC 5 kV 電流/1本 110 A フィードスルー 5 kV / 110 A -
タイプ 高電圧・高電流 電極 無酸素銅 フランジ材質 SUS 304 スリーブ コバール® 絶縁体 アルミナセラミック 最高温度 450℃ 最低温度 -196℃ リークレート <1.3x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec 絶縁抵抗値 10⁹ ohm 耐電圧: DC 6 kV 電流/1本 145 A フィードスルー 6 kV / 145 A
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使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup> Pa バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec オリフィス径 Φ3.5 mm 最高温度 125℃ シール/ガスケット材質 バイトン® 軸シール潤滑材 高真空用シリコーングリース バルブボディ軸 SUS 304 弁体 黄銅（Niメッキ） ハンドル フェノール樹脂 -
使用可能圧力 大気圧～10<sup>-8</sup> Pa 調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 450℃ ボディ SUS 304 シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金
