フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| リンク | アルミ |
|---|---|
| ストラップ | SUS 316L |
| ノブ/ナット | FRP |
| クランピングスクリュー | SUS 316L |
| クランピングボルト | アルミ |
| 最高温度 | 100℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| RoHS2対応 | ○ |
| リンク | FRP |
|---|---|
| ストラップ | SUS 316L |
| ノブ/ナット | FRP |
| クランピングスクリュー | SUS 316L |
| クランピングボルト | FRP |
| 最高温度 | 60℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| RoHS2対応 | ○ |
| シール/ガスケット材質 | バイトン® |
|---|---|
| 最高温度 | 200℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| アウターリング | テフロン® |
|---|---|
| インナーリング | テフロン® |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ◎ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |