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フランジ材質 | SUS 304 |
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窓 | ホウケイ酸ガラス |
最高温度 | 200℃ |
リークレート | <1.0x10<sup>-9</sup>mbar・l/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
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窓 | ホウケイ酸ガラス |
最高温度 | 350℃ |
リークレート | <1.0x10<sup>-9</sup>mbar・l/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304L |
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窓 | 強化ガラス |
最高温度 | 150℃ |
最低温度 | -20℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS(329J3L) |
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窓 | ホウケイ酸ガラス |
最高温度 | 280℃ |
最低温度 | -20℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | Duran®ホウケイ酸ガラス |
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窓 | ホウケイ酸ガラス |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -50℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup>Pa |
対応シール | 専用エラストマーシール |
加圧 | NW63以下 ○、NW80以上✖︎ |
非磁性 | ○ |
耐薬品性 | ◎ |
クリーンルーム対応 | ○ |
絶縁性 | ○ |
仕上げ | 標準 |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | Duran®ホウケイ酸ガラス |
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窓 | ホウケイ酸ガラス |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -50℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup>Pa |
対応シール | 専用エラストマーシール |
加圧 | NW63以下 ○、NW80以上✖︎ |
非磁性 | ○ |
耐薬品性 | ◎ |
クリーンルーム対応 | ○ |
絶縁性 | ○ |
仕上げ | 光学用 |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS(1.4462) |
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窓 | ホウケイ酸ガラス |
最高温度 | 280℃ |
最低温度 | -20℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | 石英 |
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窓 | 溶融石英 |
最高温度 | 1000℃ |
最低温度 | -50℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup>Pa |
対応シール | 専用エラストマーシール |
加圧 | NW63以下 ○、NW80以上✖︎ |
非磁性 | ○ |
耐薬品性 | ◎ |
クリーンルーム対応 | ○ |
絶縁性 | ○ |
仕上げ | 標準 |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | 石英 |
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窓 | 溶融石英 |
最高温度 | 1000℃ |
最低温度 | -50℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup>Pa |
対応シール | 専用エラストマーシール |
加圧 | NW63以下 ○、NW80以上✖︎ |
非磁性 | ○ |
耐薬品性 | ◎ |
クリーンルーム対応 | ○ |
絶縁性 | ○ |
仕上げ | 光学用 |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | 石英 |
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窓 | 合成石英 |
最高温度 | 1000℃ |
最低温度 | -50℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup>Pa |
対応シール | 専用エラストマーシール |
耐放射線性 | ○ |
クリーンルーム対応 | ◎ |
絶縁性 | ○ |
仕上げ | 標準 |
RoHS2対応 | ○ |