フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス |
| 最高温度 | 350℃ |
| リークレート | <1.0x10<sup>-8</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| フランジ材質 | SUS(329J3L) |
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス |
| 最高温度 | 280℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ◎ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ◎ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ◎ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |