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真空バルブ(NW / KF規格) 製品一覧 真空バルブ/リークポート(リークバルブ)

サブカテゴリ 6件 (1 ~6 件)

製品 17件 (1 ~17 件)

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  • 製品コード :20466
    型式 :NW25PABV

    ▼NW/KF 圧空式ベローズバルブ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼サイズ・仕様
    ・フランジサイズ(NW):25,40,50
    ・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
    ・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
    ※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
    ※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください

    ▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    RoHS2対応
    NW 25
    A 50
    D 57
    L(長さ) 148.8
    コンダクタンス[L/S] 12.8
  • 製品コード :20602
    型式 :NW40PABV

    ▼NW/KF 圧空式ベローズバルブ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼サイズ・仕様
    ・フランジサイズ(NW):25,40,50
    ・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
    ・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
    ※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
    ※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください

    ▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    RoHS2対応
    NW 40
    A 65
    D 76
    L(長さ) 199.2
    コンダクタンス[L/S] 41.8
  • 製品コード :20672
    型式 :NW50PABV

    ▼NW/KF 圧空式ベローズバルブ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼サイズ・仕様
    ・フランジサイズ(NW):25,40,50
    ・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
    ・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
    ※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
    ※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください

    ▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    RoHS2対応
    NW 50
    A 70
    D 89
    L(長さ) 246
    コンダクタンス[L/S] 71.9
  • 製品コード :20128
    型式 :NW16MABV

    ▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ・フランジサイズ(NW):10,16,25,40,50
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    NW 16
    A 40
    D 56.8
    E 60
    L(長さ) 122〜141
    コンダクタンス[L/S] 4
  • 製品コード :20667
    型式 :NW25MSBV

    ▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
    ・フランジサイズ(NW):16,25
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 316
    フレキ/ベローズ SUS 321
    ハンドル アルミ 2024-T4
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    RoHS2対応
    NW 25
    A 40
    L(長さ) 111~113
    L1 86
  • 製品コード :60236
    型式 :NW40PASFV

    ▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
    ・ソフト排気用L字型アングルバルブ
    ・圧空操作式
    ・汎用性の高いNW40,NW50サイズで標準規格化
    ・ボディ材質:SUS

    ▼ソフト排気について
    ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
    パーティクルなどが舞うのを防止します

    ▼特徴
    ・開口量をダイヤルで設定可能
    ・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
    ・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
    ・差圧が大きくても作動可能

    ▼オプション
    ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
    詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    使用可能圧力 10<sup>-6</sup>Pa ~0.5Mpa
    プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa
    プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa
    バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    使用可能温度(ボディ) 150 ℃
    使用可能温度(アクチュエーター) 120 ℃
    使用可能温度(ポジションインディケーター) 70 ℃
    ボディ SUS 316
    プレート SUS 316
    ベローズ SUS 316
    ボンネットシール FKM(Viton®)
    ポジションインディケーター(接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
    NW 40
  • 製品コード :60237
    型式 :NW50PASFV

    ▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
    ・ソフト排気用L字型アングルバルブ
    ・圧空操作式
    ・汎用性の高いNW40,NW50サイズで標準規格化
    ・ボディ材質:SUS

    ▼ソフト排気について
    ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
    パーティクルなどが舞うのを防止します

    ▼特徴
    ・開口量をダイヤルで設定可能
    ・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
    ・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
    ・差圧が大きくても作動可能

    ▼オプション
    ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
    詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    使用可能圧力 10<sup>-6</sup>Pa ~0.5Mpa
    プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa
    プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa
    バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    使用可能温度(ボディ) 150 ℃
    使用可能温度(アクチュエーター) 120 ℃
    使用可能温度(ポジションインディケーター) 70 ℃
    ボディ SUS 316
    プレート SUS 316
    ベローズ SUS 316
    ボンネットシール FKM(Viton®)
    ポジションインディケーター(接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
    NW 50
  • 製品コード :60234
    型式 :NW40MBFV

    ▼手動バタフライバルブ
    ・手動バタフライコントロールバルブ
    ・流量調整メモリ/安全防止ロック付き
    ・密閉可能なシーリングタイプ

    ▼用途
    ・装置内の圧力・流量調整
    ・真空バルブとしては開口コンダクタンスが最大で、面間距離が短く、密閉も可能な小型・軽量バルブです

    ▼サイズ・仕様
    ・ボディ材質:SUS304
    ・フランジ接続:NW40,NW50
    ・バルブ部(弁体)にはOリングがついています
    ・軸部分にはメインシールに加えてサブのOリング付き
    ・細かい流量調整が可能なメモリ付き

    ▼その他
    ・上記以外のサイズ、フランジ規格、材質も対応可能です
    ・バルブ部(弁体)にOリングにないタイプはご相談ください
    自動制御バタフライバルブもご用意しております

    使用可能圧力 0.12MPa ~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    最低温度 10℃
    最高温度 150℃
    初回サービスまでサイクル 200,000 (常温、クリーン環境使用時)
    NW 40
    DN(内径) 40
    タイプ バルブ部Viton®付属
    ボディ SUS 304
17時までのご注文で当日出荷受付 営業時間9:00~18:00 土日祝除く
お問い合わせ
製品やカスタマイズについてなど、どのようなことでも
構いませんので、何かお問い合わせがある際には、
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