真空部品 約8000種類 を常時在庫 当日出荷は17時まで受付(営業時間9:00〜18:00 土日祝除く)
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
---|---|
使用可能圧力 | 10<sup>-6</sup>Pa ~0.5Mpa |
プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.2 MPa |
プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.5 Mpa |
バルブ開時の許容最大差圧 | ≤ 0.1 Mpa |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
使用可能温度(ボディ) | 150 ℃ |
使用可能温度(アクチュエーター) | 120 ℃ |
使用可能温度(ポジションインディケーター) | 70 ℃ |
ボディ | SUS 316 |
プレート | SUS 316 |
ベローズ | SUS 316 |
ボンネットシール | FKM(Viton®) |
ポジションインディケーター(接点 | 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA |
使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup>Pa |
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リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 200,000 (常温、クリーン環境使用時) |
最高温度 | 140℃ |
---|---|
最低温度 | -10℃ |
使用可能圧力 | 真空~ 800 kPa |
リークレート | <1.3x10<sup>-8</sup>mbar・l/sec |
主要材質 | SUS 316L |
接面材質 | SUS316L |
シール/ガスケット材質 | PTFE |
内面処理 | Ra ≤ 0.8μm |
▼NW/KF 圧空式ベローズバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼サイズ・仕様
・フランジサイズ(NW):25,40,50
・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW | 25 |
A | 50 |
D | 57 |
L(長さ) | 148.8 |
コンダクタンス[L/S] | 12.8 |
▼NW/KF 圧空式ベローズバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼サイズ・仕様
・フランジサイズ(NW):25,40,50
・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW | 40 |
A | 65 |
D | 76 |
L(長さ) | 199.2 |
コンダクタンス[L/S] | 41.8 |
▼NW/KF 圧空式ベローズバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼サイズ・仕様
・フランジサイズ(NW):25,40,50
・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW | 50 |
A | 70 |
D | 89 |
L(長さ) | 246 |
コンダクタンス[L/S] | 71.9 |
▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW):10,16,25,40,50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW | 16 |
A | 40 |
D | 56.8 |
E | 60 |
L(長さ) | 122〜141 |
コンダクタンス[L/S] | 4 |
▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW):10,16,25,40,50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW | 25 |
A | 50 |
D | 57 |
E | 60 |
L(長さ) | 128.4~148.2 |
コンダクタンス[L/S] | 12.8 |
▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW):10,16,25,40,50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW | 40 |
A | 65 |
D | 75 |
E | 60 |
L(長さ) | 167.5~198.5 |
コンダクタンス[L/S] | 41.8 |
▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW):10,16,25,40,50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW | 50 |
A | 70 |
D | 89 |
E | 60 |
L(長さ) | 190.5~235.5 |
コンダクタンス[L/S] | 71.9 |
▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・フランジサイズ(NW):16,25
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW | 16 |
A | 30 |
L(長さ) | 106~108 |
L1 | 86 |
▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・フランジサイズ(NW):16,25
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW | 25 |
A | 40 |
L(長さ) | 111~113 |
L1 | 86 |
▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40,NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質:SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
---|---|
使用可能圧力 | 10<sup>-6</sup>Pa ~0.5Mpa |
プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.2 MPa |
プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.5 Mpa |
バルブ開時の許容最大差圧 | ≤ 0.1 Mpa |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
使用可能温度(ボディ) | 150 ℃ |
使用可能温度(アクチュエーター) | 120 ℃ |
使用可能温度(ポジションインディケーター) | 70 ℃ |
ボディ | SUS 316 |
プレート | SUS 316 |
ベローズ | SUS 316 |
ボンネットシール | FKM(Viton®) |
ポジションインディケーター(接点 | 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA |
NW | 40 |
▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40,NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質:SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
---|---|
使用可能圧力 | 10<sup>-6</sup>Pa ~0.5Mpa |
プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.2 MPa |
プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.5 Mpa |
バルブ開時の許容最大差圧 | ≤ 0.1 Mpa |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
使用可能温度(ボディ) | 150 ℃ |
使用可能温度(アクチュエーター) | 120 ℃ |
使用可能温度(ポジションインディケーター) | 70 ℃ |
ボディ | SUS 316 |
プレート | SUS 316 |
ベローズ | SUS 316 |
ボンネットシール | FKM(Viton®) |
ポジションインディケーター(接点 | 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA |
NW | 50 |
▼手動バタフライバルブ
・手動バタフライコントロールバルブ
・流量調整メモリ/安全防止ロック付き
・密閉可能なシーリングタイプ
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
・真空バルブとしては開口コンダクタンスが最大で、面間距離が短く、密閉も可能な小型・軽量バルブです
▼サイズ・仕様
・ボディ材質:SUS304
・フランジ接続:NW40,NW50
・バルブ部(弁体)にはOリングがついています
・軸部分にはメインシールに加えてサブのOリング付き
・細かい流量調整が可能なメモリ付き
▼その他
・上記以外のサイズ、フランジ規格、材質も対応可能です
・バルブ部(弁体)にOリングにないタイプはご相談ください
・自動制御バタフライバルブもご用意しております
使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup>Pa |
---|---|
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 200,000 (常温、クリーン環境使用時) |
NW | 40 |
DN(内径) | 40 |
タイプ | バルブ部Viton®付属 |
ボディ | SUS 304 |
▼手動バタフライバルブ
・手動バタフライコントロールバルブ
・流量調整メモリ/安全防止ロック付き
・密閉可能なシーリングタイプ
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
・真空バルブとしては開口コンダクタンスが最大で、面間距離が短く、密閉も可能な小型・軽量バルブです
▼サイズ・仕様
・ボディ材質:SUS304
・フランジ接続:NW40,NW50
・バルブ部(弁体)にはOリングがついています
・軸部分にはメインシールに加えてサブのOリング付き
・細かい流量調整が可能なメモリ付き
▼その他
・上記以外のサイズ、フランジ規格、材質も対応可能です
・バルブ部(弁体)にOリングにないタイプはご相談ください
・自動制御バタフライバルブもご用意しております
使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup>Pa |
---|---|
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 200,000 (常温、クリーン環境使用時) |
NW | 50 |
DN(内径) | 50 |
タイプ | バルブ部Viton®付属 |
ボディ | SUS 304 |
▼NW/KF ボールバルブ ストレート
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW):16,25,40,50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・そのほかの真空バルブはこちらよりご覧ください
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
最高温度 | 140℃ |
---|---|
最低温度 | -10℃ |
使用可能圧力 | 真空~ 800 kPa |
リークレート | <1.3x10<sup>-8</sup>mbar・l/sec |
主要材質 | SUS 316L |
接面材質 | SUS316L |
シール/ガスケット材質 | PTFE |
内面処理 | Ra ≤ 0.8μm |
NW | 16 |
A | 30 |
B | 81 |
C | 81 |
H | 139 |
L1 | 148 |
L2 | 264 |
内径(mm) | 15.8 |
コンダクタンス[L/S] | 5 |
▼NW/KF ボールバルブ ストレート
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW):16,25,40,50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・そのほかの真空バルブはこちらよりご覧ください
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
最高温度 | 140℃ |
---|---|
最低温度 | -10℃ |
使用可能圧力 | 真空~ 800 kPa |
リークレート | <1.3x10<sup>-8</sup>mbar・l/sec |
主要材質 | SUS 316L |
接面材質 | SUS316L |
シール/ガスケット材質 | PTFE |
内面処理 | Ra ≤ 0.8μm |
NW | 25 |
A | 40 |
B | 81 |
C | 81 |
H | 139 |
L1 | 148 |
L2 | 264 |
内径(mm) | 22.1 |
コンダクタンス[L/S] | 12 |
▼NW/KF ボールバルブ ストレート
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW):16,25,40,50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・そのほかの真空バルブはこちらよりご覧ください
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
最高温度 | 140℃ |
---|---|
最低温度 | -10℃ |
使用可能圧力 | 真空~ 800 kPa |
リークレート | <1.3x10<sup>-8</sup>mbar・l/sec |
主要材質 | SUS 316L |
接面材質 | SUS316L |
シール/ガスケット材質 | PTFE |
内面処理 | Ra ≤ 0.8μm |
NW | 40 |
A | 55 |
B | 81 |
C | 81 |
H | 139 |
L1 | 148 |
L2 | 264 |
内径(mm) | 34.8 |
コンダクタンス[L/S] | 33 |
▼NW/KF ボールバルブ ストレート
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW):16,25,40,50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・そのほかの真空バルブはこちらよりご覧ください
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
最高温度 | 140℃ |
---|---|
最低温度 | -10℃ |
使用可能圧力 | 真空~ 800 kPa |
リークレート | <1.3x10<sup>-8</sup>mbar・l/sec |
主要材質 | SUS 316L |
接面材質 | SUS316L |
シール/ガスケット材質 | PTFE |
内面処理 | Ra ≤ 0.8μm |
NW | 50 |
A | 75 |
B | 102 |
C | 102 |
H | 164 |
L1 | 166 |
L2 | 287 |
内径(mm) | 47.5 |
コンダクタンス[L/S] | 54 |