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真空バルブ（NW / KF規格） 製品一覧 真空バルブ/リークポート（リークバルブ）
サブカテゴリ 6件 (1 ～6 件)
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フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup>Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA -
使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 200,000 (常温、クリーン環境使用時) -
最高温度 140℃ 最低温度 -10℃ 使用可能圧力 真空～ 800 kPa リークレート <1.3x10<sup>-8</sup>mbar･l/sec 主要材質 SUS 316L 接面材質 SUS316L シール/ガスケット材質 PTFE 内面処理 Ra ≤ 0.8μm
製品 17件 (1 ～17 件)
- 表示件数
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製品コード ：20466
型式 ：NW25PABV▼NW/KF 圧空式ベローズバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼サイズ・仕様
・フランジサイズ(NW)：25，40，50
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW 25 A 50 D 57 L（長さ） 148.8 コンダクタンス[L/S] 12.8 -
製品コード ：20602
型式 ：NW40PABV▼NW/KF 圧空式ベローズバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼サイズ・仕様
・フランジサイズ(NW)：25，40，50
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW 40 A 65 D 76 L（長さ） 199.2 コンダクタンス[L/S] 41.8 -
製品コード ：20672
型式 ：NW50PABV▼NW/KF 圧空式ベローズバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼サイズ・仕様
・フランジサイズ(NW)：25，40，50
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW 50 A 70 D 89 L（長さ） 246 コンダクタンス[L/S] 71.9 -
製品コード ：20128
型式 ：NW16MABV▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW)：10，16，25，40，50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW 16 A 40 D 56.8 E 60 L（長さ） 122〜141 コンダクタンス[L/S] 4
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製品コード ：20172
型式 ：NW25MABV▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW)：10，16，25，40，50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW 25 A 50 D 57 E 60 L（長さ） 128.4~148.2 コンダクタンス[L/S] 12.8 -
製品コード ：20216
型式 ：NW40MABV▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW)：10，16，25，40，50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW 40 A 65 D 75 E 60 L（長さ） 167.5~198.5 コンダクタンス[L/S] 41.8 -
製品コード ：20467
型式 ：NW50MABV▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW)：10，16，25，40，50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW 50 A 70 D 89 E 60 L（長さ） 190.5~235.5 コンダクタンス[L/S] 71.9 -
製品コード ：20666
型式 ：NW16MSBV▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・フランジサイズ(NW)：16，25
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW 16 A 30 L（長さ） 106～108 L1 86
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製品コード ：20667
型式 ：NW25MSBV▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・フランジサイズ(NW)：16，25
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW 25 A 40 L（長さ） 111～113 L1 86 -
製品コード ：60236
型式 ：NW40PASFV▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40，NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質：SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡くださいリークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup>Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA NW 40 -
製品コード ：60237
型式 ：NW50PASFV▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40，NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質：SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡くださいリークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup>Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA NW 50 -
製品コード ：60234
型式 ：NW40MBFV▼手動バタフライバルブ
・手動バタフライコントロールバルブ
・流量調整メモリ/安全防止ロック付き
・密閉可能なシーリングタイプ
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
・真空バルブとしては開口コンダクタンスが最大で、面間距離が短く、密閉も可能な小型・軽量バルブです
▼サイズ・仕様
・ボディ材質：SUS304
・フランジ接続：NW40，NW50
・バルブ部(弁体)にはOリングがついています
・軸部分にはメインシールに加えてサブのOリング付き
・細かい流量調整が可能なメモリ付き
▼その他
・上記以外のサイズ、フランジ規格、材質も対応可能です
・バルブ部(弁体)にOリングにないタイプはご相談ください
・自動制御バタフライバルブもご用意しております使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 200,000 (常温、クリーン環境使用時) NW 40 DN（内径） 40 タイプ バルブ部Viton®付属 ボディ SUS 304
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製品コード ：60235
型式 ：NW50MBFV▼手動バタフライバルブ
・手動バタフライコントロールバルブ
・流量調整メモリ/安全防止ロック付き
・密閉可能なシーリングタイプ
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
・真空バルブとしては開口コンダクタンスが最大で、面間距離が短く、密閉も可能な小型・軽量バルブです
▼サイズ・仕様
・ボディ材質：SUS304
・フランジ接続：NW40，NW50
・バルブ部(弁体)にはOリングがついています
・軸部分にはメインシールに加えてサブのOリング付き
・細かい流量調整が可能なメモリ付き
▼その他
・上記以外のサイズ、フランジ規格、材質も対応可能です
・バルブ部(弁体)にOリングにないタイプはご相談ください
・自動制御バタフライバルブもご用意しております使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 200,000 (常温、クリーン環境使用時) NW 50 DN（内径） 50 タイプ バルブ部Viton®付属 ボディ SUS 304 -
製品コード ：25152
型式 ：NW16BV▼NW/KF ボールバルブ ストレート
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW)：16，25，40，50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・そのほかの真空バルブはこちらよりご覧ください
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから最高温度 140℃ 最低温度 -10℃ 使用可能圧力 真空～ 800 kPa リークレート <1.3x10<sup>-8</sup>mbar･l/sec 主要材質 SUS 316L 接面材質 SUS316L シール/ガスケット材質 PTFE 内面処理 Ra ≤ 0.8μm NW 16 A 30 B 81 C 81 H 139 L1 148 L2 264 内径(mm) 15.8 コンダクタンス[L/S] 5 -
製品コード ：25153
型式 ：NW25BV▼NW/KF ボールバルブ ストレート
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW)：16，25，40，50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・そのほかの真空バルブはこちらよりご覧ください
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから最高温度 140℃ 最低温度 -10℃ 使用可能圧力 真空～ 800 kPa リークレート <1.3x10<sup>-8</sup>mbar･l/sec 主要材質 SUS 316L 接面材質 SUS316L シール/ガスケット材質 PTFE 内面処理 Ra ≤ 0.8μm NW 25 A 40 B 81 C 81 H 139 L1 148 L2 264 内径(mm) 22.1 コンダクタンス[L/S] 12 -
製品コード ：25154
型式 ：NW40BV▼NW/KF ボールバルブ ストレート
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW)：16，25，40，50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・そのほかの真空バルブはこちらよりご覧ください
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから最高温度 140℃ 最低温度 -10℃ 使用可能圧力 真空～ 800 kPa リークレート <1.3x10<sup>-8</sup>mbar･l/sec 主要材質 SUS 316L 接面材質 SUS316L シール/ガスケット材質 PTFE 内面処理 Ra ≤ 0.8μm NW 40 A 55 B 81 C 81 H 139 L1 148 L2 264 内径(mm) 34.8 コンダクタンス[L/S] 33
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製品コード ：25155
型式 ：NW50BV▼NW/KF ボールバルブ ストレート
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(NW)：16，25，40，50
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・そのほかの真空バルブはこちらよりご覧ください
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから最高温度 140℃ 最低温度 -10℃ 使用可能圧力 真空～ 800 kPa リークレート <1.3x10<sup>-8</sup>mbar･l/sec 主要材質 SUS 316L 接面材質 SUS316L シール/ガスケット材質 PTFE 内面処理 Ra ≤ 0.8μm NW 50 A 75 B 102 C 102 H 164 L1 166 L2 287 内径(mm) 47.5 コンダクタンス[L/S] 54
