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真空バルブ（ICF規格） 製品一覧 真空バルブ/リークポート（リークバルブ）
サブカテゴリ 4件 (1 ～4 件)
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フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
使用可能圧力 大気圧～10<sup>-8</sup> Pa 調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 450℃ ボディ SUS 304 シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金
製品 26件 (1 ～20 件)
- 表示件数
- 表示切替
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製品コード ：20128
型式 ：NW16MABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 16 A 40 D 56.8 E 60 L（長さ） 122〜141 コンダクタンス[L/S] 4 分類 手動 形状 L型 -
製品コード ：20172
型式 ：NW25MABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 25 A 50 D 57 E 60 L（長さ） 128.4~148.2 コンダクタンス[L/S] 12.8 分類 手動 形状 L型 -
製品コード ：20216
型式 ：NW40MABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 40 A 65 D 75 E 60 L（長さ） 167.5~198.5 コンダクタンス[L/S] 41.8 分類 手動 形状 L型 -
製品コード ：20467
型式 ：NW50MABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 50 A 70 D 89 E 60 L（長さ） 190.5~235.5 コンダクタンス[L/S] 71.9 分類 手動 形状 L型
-
製品コード ：20466
型式 ：NW25PABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 25 A 50 D 57 L（長さ） 148.8 コンダクタンス[L/S] 12.8 分類 圧空（単作動） 形状 L型 -
製品コード ：20602
型式 ：NW40PABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 40 A 65 D 76 L（長さ） 199.2 コンダクタンス[L/S] 41.8 分類 圧空（単作動） 形状 L型 -
製品コード ：20672
型式 ：NW50PABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 50 A 70 D 89 L（長さ） 246 コンダクタンス[L/S] 71.9 分類 圧空（単作動） 形状 L型 -
製品コード ：20489
型式 ：ICF34MABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ ICF 34 A 38 D 57.2 E 60 L（長さ） 120～139 コンダクタンス[L/S] 4 分類 手動 形状 L型
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製品コード ：20092
型式 ：ICF70MABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ ICF 70 A 63 D 76.2 E 60 L（長さ） 161～201 コンダクタンス[L/S] 26 分類 手動 形状 L型 -
製品コード ：20579
型式 ：ICF114MABV▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼手動式
・フランジ：ICF，NW/KF
・形状：L型
・ストレート型のバルブもご用意しております
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼圧空操作式
・フランジ：NW/KF
・開閉：エア供給時＝オープン、ばね＝クローズ
・空圧：NW25＝0.4MPa、NW40，50＝0.3MPa
※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ ICF 114 A 105 D 101.6 E 60 L（長さ） 227～268 コンダクタンス[L/S] 29 分類 手動 形状 L型 -
製品コード ：20666
型式 ：NW16MSBV▼手動ストレートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・レバーは全開時に最大長となります
・フランジ：NW/KF，ICF
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 16 A 30 L（長さ） 106～109 L1 84 -
製品コード ：20667
型式 ：NW25MSBV▼手動ストレートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・レバーは全開時に最大長となります
・フランジ：NW/KF，ICF
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ NW/KF 25 A 40 L（長さ） 111～114 L1 84
-
製品コード ：20652
型式 ：ICF34MSBV▼手動ストレートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・レバーは全開時に最大長となります
・フランジ：NW/KF，ICF
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 34 A 34 L（長さ） 108～111 L1 102 -
製品コード ：26551
型式 ：ICF70VLV▼バリアブルリークバルブ
・導入ガス流量の調節用
・オールメタル製(ベーキング450℃まで)
・超高真空対応(大気～10⁻⁸Pa 程度)
・用途：スパッタ装置や実験装置など
▼仕様
・ガスOUTLET：ICF70ポート
・ガスINLET：ICF34ポート
・調節可能最小リーク量：6.7ｘ10E-9Pa・sec以下
※Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2Mpa時
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください使用可能圧力 大気圧～10<sup>-8</sup> Pa 調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 450℃ ボディ SUS 304 シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金 ICF 70 ガスINLET側 Φ8 -
製品コード ：27402
型式 ：NW16MIYVフランジ材質 SUS 304L ボディ SUS 304L フレキ/ベローズ AM-350 最高温度 200℃ RoHS2対応 ○ NW/KF 16 A 102 D 60 E 60.6 L（長さ） 100~110 分類 手動 形状 Y型 ボンネットシール バイトン® -
製品コード ：27403
型式 ：NW25MIYVフランジ材質 SUS 304L ボディ SUS 304L フレキ/ベローズ AM-350 最高温度 200℃ RoHS2対応 ○ NW/KF 25 A 107 D 60 E 60.6 L（長さ） 97~107 分類 手動 形状 Y型 ボンネットシール バイトン®
-
製品コード ：27404
型式 ：NW40MIYVフランジ材質 SUS 304L ボディ SUS 304L フレキ/ベローズ AM-350 最高温度 200℃ RoHS2対応 ○ NW/KF 40 A 130 D 60 E 76.5 L（長さ） 117~134 分類 手動 形状 Y型 ボンネットシール バイトン® -
製品コード ：27405
型式 ：NW50MIYVフランジ材質 SUS 304L ボディ SUS 304L フレキ/ベローズ AM-350 最高温度 200℃ RoHS2対応 ○ NW/KF 50 A 177.8 D 60 E 85 L（長さ） 143~167 分類 手動 形状 Y型 ボンネットシール バイトン® -
製品コード ：27406
型式 ：ICF34MIYVフランジ材質 SUS 304L ボディ SUS 304L フレキ/ベローズ AM-350 最高温度 200℃ RoHS2対応 ○ ICF 34 A 119 D 60 E 70 L（長さ） 100~110 分類 手動 形状 Y型 ボンネットシール 無酸素銅 -
製品コード ：27407
型式 ：ICF70MIYVフランジ材質 SUS 304L ボディ SUS 304L フレキ/ベローズ AM-350 最高温度 200℃ RoHS2対応 ○ ICF 70 A 133 D 60 E 86 L（長さ） 117~134 分類 手動 形状 Y型 ボンネットシール 無酸素銅
