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フランジ材質 石英 窓 溶融石英 最高温度 1000℃ 最低温度 -50℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup>Pa 対応シール 専用エラストマーシール 加圧 NW63以下 ○、NW80以上✖︎ 非磁性 ○ 耐薬品性 ◎ クリーンルーム対応 ○ 絶縁性 ○ 仕上げ 標準 RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 石英 窓 溶融石英 最高温度 1000℃ 最低温度 -50℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup>Pa 対応シール 専用エラストマーシール 加圧 NW63以下 ○、NW80以上✖︎ 非磁性 ○ 耐薬品性 ◎ クリーンルーム対応 ○ 絶縁性 ○ 仕上げ 光学用 RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 石英 窓 合成石英 最高温度 1000℃ 最低温度 -50℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup>Pa 対応シール 専用エラストマーシール 耐放射線性 ○ クリーンルーム対応 ◎ 絶縁性 ○ 仕上げ 標準 RoHS2対応 ○
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フランジ材質 チタン 窓 合成石英 最高温度 200℃ 最低温度 -100℃ リークレート <1.0x10<sup>-8</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○
