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フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
最高温度 | 140℃ |
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最低温度 | -10℃ |
使用可能圧力 | 真空~ 800 kPa |
主要材質 | SUS 304 |
接面材質 | SUS316L |
シール/ガスケット材質 | PTFE |
内面処理 | Ra ≤ 0.8μm |
使用可能圧力 | 1.2 bar ~10<sup>-6</sup>Pa |
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リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
最高温度 | 140℃ |
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最低温度 | -10℃ |
使用可能圧力 | 真空~ 800 kPa |
主要材質 | SUS 304 |
接面材質 | SUS316L |
シール/ガスケット材質 | PTFE |
内面処理 | Ra ≤ 0.8μm |
使用可能圧力 | 1.2 bar ~10<sup>-6</sup>Pa |
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リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |