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バリアブルリークバルブ 製品一覧 真空バルブ/リークポート（リークバルブ）
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使用可能圧力 大気圧～10<sup>-8</sup> Pa 調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 450℃ ボディ SUS 304 シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金
製品 1件 (1 ～1 件)
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製品コード ：26551
型式 ：ICF70VLV▼バリアブルリークバルブ
・導入ガス流量の調節用
・オールメタル製(ベーキング450℃まで)
・超高真空対応(大気～10⁻⁸Pa 程度)
・用途：スパッタ装置や実験装置など
▼仕様
・ガスOUTLET：ICF70ポート
・ガスINLET：ICF34ポート
・調節可能最小リーク量：6.7ｘ10E-9Pa・sec以下
※Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2Mpa時
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください使用可能圧力 大気圧～10<sup>-8</sup> Pa 調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 450℃ ボディ SUS 304 シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金 ICF 70 ガスINLET側 Φ8
