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真空配管部品 CeFiX®システム 製品一覧 真空配管部品
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リンク ステンレス ストラップ ステンレス 加圧 ○ RoHS2対応 ○ 締付方法 トルクレンチ クリーンルーム対応 △ 耐薬品性 ○ 耐放射線性 ○ 非磁性 ○ 対応シール アルミ/無酸素銅/ニッケル 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-9</sup> Pa 最低温度 -270℃ 最高温度 315℃ クランピングボルト ステンレス クランピングスクリュー ステンレス ノブ／ナット SUS -
耐放射線性 ○ RoHS2対応 ○ クリーンルーム対応 ○ 耐薬品性 ○ 非磁性 ○ 加圧 ○ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-9</sup> Pa -
クリーンルーム対応 ○ RoHS2対応 ○ 耐薬品性 ○ 耐放射線性 ○ 非磁性 ○ 加圧 ○ 使用可能圧力 10<sup>-9</sup> Pa 最低温度 -270℃ 最高温度 450℃ -
加圧 ○ 非磁性 ○ 耐放射線性 ○ 耐薬品性 ○ クリーンルーム対応 ○ RoHS2対応 ○ 使用可能圧力 10<sup>-9</sup> Pa 最低温度 -270℃ 最高温度 450℃ -
RoHS2対応 ○ リークレート <1.3x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-9</sup> Pa 最低温度 -20℃ 最高温度 280℃ 窓 ホウケイ酸ガラス フランジ材質 SUS（329J3L）
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RoHS2対応 ○ 使用可能圧力 10<sup>-9</sup> Pa フランジ材質 SUS316L/SUS304(CeFlX®/ICF) 最高温度 450℃ 最低温度 -270℃
