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真空バルブ
導入機
その他
| フランジ材質 | SUS(329J3L) |
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス |
| 最高温度 | 280℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
▼ビューポート Duran®(ホウケイ酸ガラス)
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・使用温度範囲 -20℃~+280℃
・プラズマ、高温アプリケーションなどの目視用に好適
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├フッ化バリウム(BaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| フランジ材質 | SUS(329J3L) |
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス |
| 最高温度 | 280℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 63 |
| A | 87 |
| E | 45 |
| F | 7 |
| T(ガラス厚) | 7 |
| V(有効径) | 45 |
▼ビューポート Duran®(ホウケイ酸ガラス)
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・使用温度範囲 -20℃~+280℃
・プラズマ、高温アプリケーションなどの目視用に好適
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├フッ化バリウム(BaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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| フランジ材質 | SUS(329J3L) |
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス |
| 最高温度 | 280℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 80 |
▼ビューポート Duran®(ホウケイ酸ガラス)
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・使用温度範囲 -20℃~+280℃
・プラズマ、高温アプリケーションなどの目視用に好適
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├フッ化バリウム(BaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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| フランジ材質 | SUS(329J3L) |
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス |
| 最高温度 | 280℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| A | 75 |
| CeFiX(NW) | 50 |
| E | 40 |
| F | 7 |
▼ビューポート Duran®(ホウケイ酸ガラス)
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・使用温度範囲 -20℃~+280℃
・プラズマ、高温アプリケーションなどの目視用に好適
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├フッ化バリウム(BaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼その他
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| フランジ材質 | SUS(329J3L) |
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス |
| 最高温度 | 280℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| A | 190 |
| E | 100 |
| CeFiX(NW) | 160 |
| F | 15 |
▼ビューポート Duran®(ホウケイ酸ガラス)
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・使用温度範囲 -20℃~+280℃
・プラズマ、高温アプリケーションなどの目視用に好適
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├フッ化バリウム(BaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| フランジ材質 | SUS(329J3L) |
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス |
| 最高温度 | 280℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| E | 130 |
| CeFiX(NW) | 200 |
| A | 242 |
| F | 15 |
▼ビューポート Duran®(ホウケイ酸ガラス)
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・使用温度範囲 -20℃~+280℃
・プラズマ、高温アプリケーションなどの目視用に好適
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├フッ化バリウム(BaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| フランジ材質 | SUS(329J3L) |
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス |
| 最高温度 | 280℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| サニタリー(NW) | 40 |
| A | 64 |
| C | 30 |
| L(長さ) | 10 |