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アイソレイトバルブ 製品一覧 真空バルブ/リークポート（リークバルブ）
サブカテゴリ 1件 (1 ～1 件)
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使用可能圧力 大気圧～10<sup>-2</sup> Pa リークレート <5x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec コンダクタンス 420 L/min(20℃空気に対する分子流領域での値） 初回サービスまでサイクル 30,000又は1年 使用可能ガス 大気又はガス（腐食性除く） 最高温度 40℃ 最低温度 10℃
製品 2件 (1 ～2 件)
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製品コード ：27949
型式 ：NW25ISLV100▼アイソレイトバルブ
・油回転ポンプ停止時の逆流を防止
・主にポンプ吸気口に取り付けて使用します
▼仕様
・ポンプ停止時、被排気系側を自動で封止します。ポンプ側が大気ベントされ、被排気系側へのポンプ油の逆流が防止されます
・バルブの開閉には、ポンプ側で発生する真空力を利用しており、ポンプが作動していない状態ではバルブは閉まります
・バルブの操作は、付属の電磁弁への電力供給をポンプの電動機と連動させて行う方式です
▼使用方法
・本体と垂直方向のフランジをチャンバー側、側面フランジを油回転ポンプ側に接続してください(取付方向が異なる場合はバルブは作動いたしません)
・ポンプの通電動作と同期するよう接続ください
▼ご注意
・電気回路には保護のため、別途ヒューズなどを設けてください
・定格電圧の範囲内（±10%）でご使用ください
・バルブの配線は定格電圧に適合したコネクタを使用してください
・上図は、バルブとポンプの通電動作を同期すると共に、ポンプモーターの主回路で発生するサージ電圧がバルブの電磁弁を保護する回路の一例です。必要に応じて、モーターの主回路にサージキラーなどを設け、サージ電圧を軽減してください使用可能圧力 大気圧～10<sup>-2</sup> Pa リークレート <5x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec コンダクタンス 420 L/min(20℃空気に対する分子流領域での値） 初回サービスまでサイクル 30,000又は1年 使用可能ガス 大気又はガス（腐食性除く） 最高温度 40℃ 最低温度 10℃ NW/KF 25 定格電圧/温度 100 V -
製品コード ：27950
型式 ：NW25ISLV200▼アイソレイトバルブ
・油回転ポンプ停止時の逆流を防止
・主にポンプ吸気口に取り付けて使用します
▼仕様
・ポンプ停止時、被排気系側を自動で封止します。ポンプ側が大気ベントされ、被排気系側へのポンプ油の逆流が防止されます
・バルブの開閉には、ポンプ側で発生する真空力を利用しており、ポンプが作動していない状態ではバルブは閉まります
・バルブの操作は、付属の電磁弁への電力供給をポンプの電動機と連動させて行う方式です
▼使用方法
・本体と垂直方向のフランジをチャンバー側、側面フランジを油回転ポンプ側に接続してください(取付方向が異なる場合はバルブは作動いたしません)
・ポンプの通電動作と同期するよう接続ください
▼ご注意
・電気回路には保護のため、別途ヒューズなどを設けてください
・定格電圧の範囲内（±10%）でご使用ください
・バルブの配線は定格電圧に適合したコネクタを使用してください
・上図は、バルブとポンプの通電動作を同期すると共に、ポンプモーターの主回路で発生するサージ電圧がバルブの電磁弁を保護する回路の一例です。必要に応じて、モーターの主回路にサージキラーなどを設け、サージ電圧を軽減してください使用可能圧力 大気圧～10<sup>-2</sup> Pa リークレート <5x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec コンダクタンス 420 L/min(20℃空気に対する分子流領域での値） 初回サービスまでサイクル 30,000又は1年 使用可能ガス 大気又はガス（腐食性除く） 最高温度 40℃ 最低温度 10℃ NW/KF 25 定格電圧/温度 200 V
