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  • フィードスルー フィードスルー
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真空配管部品 バルブ 製品一覧 真空配管部品

サブカテゴリ 6件 (1 ~6 件)

製品 33件 (1 ~20 件)

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  • 製品コード :20128
    型式 :NW16MABV

    ▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼手動式
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・形状:L型
    ストレート型のバルブもご用意しております
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼圧空操作式
    ・フランジ:NW/KF
    ・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
    ・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
    ※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
    ※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・真空破壊用のリークポートもございます
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 16
    A 40
    D 56.8
    E 60
    L(長さ) 122〜141
    コンダクタンス[L/S] 4
    分類 手動
    57,700円 (税込63,470円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20172
    型式 :NW25MABV

    ▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼手動式
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・形状:L型
    ストレート型のバルブもご用意しております
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼圧空操作式
    ・フランジ:NW/KF
    ・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
    ・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
    ※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
    ※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・真空破壊用のリークポートもございます
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 25
    A 50
    D 57
    E 60
    L(長さ) 128.4~148.2
    コンダクタンス[L/S] 12.8
    分類 手動
    39,700円 (税込43,670円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20216
    型式 :NW40MABV

    ▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼手動式
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・形状:L型
    ストレート型のバルブもご用意しております
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼圧空操作式
    ・フランジ:NW/KF
    ・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
    ・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
    ※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
    ※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・真空破壊用のリークポートもございます
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 40
    A 65
    D 75
    E 60
    L(長さ) 167.5~198.5
    コンダクタンス[L/S] 41.8
    分類 手動
    61,700円 (税込67,870円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20467
    型式 :NW50MABV

    ▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼手動式
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・形状:L型
    ストレート型のバルブもご用意しております
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼圧空操作式
    ・フランジ:NW/KF
    ・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
    ・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
    ※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
    ※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・真空破壊用のリークポートもございます
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 50
    A 70
    D 89
    E 60
    L(長さ) 190.5~235.5
    コンダクタンス[L/S] 71.9
    分類 手動
    79,100円 (税込87,010円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20466
    型式 :NW25PABV

    ▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼手動式
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・形状:L型
    ストレート型のバルブもご用意しております
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼圧空操作式
    ・フランジ:NW/KF
    ・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
    ・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
    ※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
    ※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・真空破壊用のリークポートもございます
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 25
    A 50
    D 57
    L(長さ) 148.8
    コンダクタンス[L/S] 12.8
    分類 圧空
    57,100円 (税込62,810円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20602
    型式 :NW40PABV

    ▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼手動式
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・形状:L型
    ストレート型のバルブもご用意しております
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼圧空操作式
    ・フランジ:NW/KF
    ・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
    ・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
    ※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
    ※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・真空破壊用のリークポートもございます
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 40
    A 65
    D 76
    L(長さ) 199.2
    コンダクタンス[L/S] 41.8
    分類 圧空
    77,100円 (税込84,810円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20672
    型式 :NW50PABV

    ▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼手動式
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・形状:L型
    ストレート型のバルブもご用意しております
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼圧空操作式
    ・フランジ:NW/KF
    ・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
    ・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
    ※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
    ※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・真空破壊用のリークポートもございます
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 50
    A 70
    D 89
    L(長さ) 246
    コンダクタンス[L/S] 71.9
    分類 圧空
    97,700円 (税込107,470円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20489
    型式 :ICF34MABV

    ▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼手動式
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・形状:L型
    ストレート型のバルブもご用意しております
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼圧空操作式
    ・フランジ:NW/KF
    ・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
    ・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
    ※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
    ※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・真空破壊用のリークポートもございます
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    ICF 34
    A 38
    D 57.2
    E 60
    L(長さ) 120~139
    コンダクタンス[L/S] 4
    分類 手動
    59,700円 (税込65,670円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20092
    型式 :ICF70MABV

    ▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼手動式
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・形状:L型
    ストレート型のバルブもご用意しております
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼圧空操作式
    ・フランジ:NW/KF
    ・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
    ・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
    ※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
    ※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・真空破壊用のリークポートもございます
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    ICF 70
    A 63
    D 76.2
    E 60
    L(長さ) 161~201
    コンダクタンス[L/S] 26
    分類 手動
    77,900円 (税込85,690円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20579
    型式 :ICF114MABV

    ▼手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼手動式
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・形状:L型
    ストレート型のバルブもご用意しております
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼圧空操作式
    ・フランジ:NW/KF
    ・開閉:エア供給時=オープン、ばね=クローズ
    ・空圧:NW25=0.4MPa、NW40,50=0.3MPa
    ※4-6.5kgf/cm2(0.65MPa程度)のボンベが使用可能です
    ※エア導入用のソレノイドバルブはお客様の方でご用意ください

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・真空破壊用のリークポートもございます
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    ICF 114
    A 105
    D 101.6
    E 60
    L(長さ) 227~268
    コンダクタンス[L/S] 29
    分類 手動
    157,700円 (税込173,470円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20666
    型式 :NW16MSBV

    ▼手動ストレートバルブ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
    ・レバーは全開時に最大長となります
    ・フランジ:NW/KF,ICF
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 316
    フレキ/ベローズ SUS 321
    ハンドル アルミ 2024-T4
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 16
    A 30
    L(長さ) 106~109
    L1 84
    78,300円 (税込86,130円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20667
    型式 :NW25MSBV

    ▼手動ストレートバルブ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
    ・レバーは全開時に最大長となります
    ・フランジ:NW/KF,ICF
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 316
    フレキ/ベローズ SUS 321
    ハンドル アルミ 2024-T4
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 25
    A 40
    L(長さ) 111~114
    L1 84
    79,600円 (税込87,560円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20652
    型式 :ICF34MSBV

    ▼手動ストレートバルブ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
    ・レバーは全開時に最大長となります
    ・フランジ:NW/KF,ICF
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 316
    フレキ/ベローズ SUS 321
    ハンドル アルミ 2024-T4
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    RoHS2対応
    ICF 34
    A 34
    L(長さ) 108~111
    L1 102
    79,500円 (税込87,450円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :60246
    型式 :NW40PASFV

    ▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
    ・ソフト排気用L字型アングルバルブ
    ・圧空操作式
    ・汎用性の高いNW40,NW50サイズで標準規格化
    ・ボディ材質:SUS

    ▼ソフト排気について
    ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
    パーティクルなどが舞うのを防止します

    ▼特徴
    ・開口量をダイヤルで設定可能
    ・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
    ・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
    ・差圧が大きくても作動可能

    ▼オプション
    ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
    詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ~0.5Mpa
    プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa
    プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa
    バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    使用可能温度(ボディ) 150 ℃
    使用可能温度(アクチュエーター) 120 ℃
    使用可能温度(ポジションインディケーター) 70 ℃
    ボディ SUS 316
    プレート SUS 316
    ベローズ SUS 316
    ボンネットシール FKM(Viton®)
    ポジションインディケーター(接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
    NW/KF 40
    258,000円 (税込283,800円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :60237
    型式 :NW50PASFV

    ▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
    ・ソフト排気用L字型アングルバルブ
    ・圧空操作式
    ・汎用性の高いNW40,NW50サイズで標準規格化
    ・ボディ材質:SUS

    ▼ソフト排気について
    ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
    パーティクルなどが舞うのを防止します

    ▼特徴
    ・開口量をダイヤルで設定可能
    ・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
    ・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
    ・差圧が大きくても作動可能

    ▼オプション
    ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
    詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ~0.5Mpa
    プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa
    プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa
    バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    使用可能温度(ボディ) 150 ℃
    使用可能温度(アクチュエーター) 120 ℃
    使用可能温度(ポジションインディケーター) 70 ℃
    ボディ SUS 316
    プレート SUS 316
    ベローズ SUS 316
    ボンネットシール FKM(Viton®)
    ポジションインディケーター(接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
    NW/KF 50
    309,000円 (税込339,900円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :60234
    型式 :NW40MBFV

    ▼手動バタフライバルブ
    ・手動バタフライコントロールバルブ
    ・流量調整メモリ/安全防止ロック付き
    ・密閉可能なシーリングタイプ

    ▼用途
    ・装置内の圧力・流量調整
    ・真空バルブとしては開口コンダクタンスが最大で、面間距離が短く、密閉も可能な小型・軽量バルブです

    ▼サイズ・仕様
    ・ボディ材質:SUS304
    ・フランジ接続:NW40,NW50
    ・バルブ部(弁体)にはOリングがついています
    ・軸部分にはメインシールに加えてサブのOリング付き
    ・細かい流量調整が可能なメモリ付き

    ▼その他
    ・上記以外のサイズ、フランジ規格、材質も対応可能です
    ・バルブ部(弁体)にOリングにないタイプはご相談ください
    自動制御バタフライバルブもご用意しております

    使用可能圧力 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    最低温度 10℃
    最高温度 150℃
    初回サービスまでサイクル 200,000 (常温、クリーン環境使用時)
    NW/KF 40
    DN(内径) 40
    タイプ バルブ部Viton®付属
    ボディ SUS 304
    A 55
    B 39
    C 57
    D 70
    L(長さ) 103
    94,300円 (税込103,730円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :60235
    型式 :NW50MBFV

    ▼手動バタフライバルブ
    ・手動バタフライコントロールバルブ
    ・流量調整メモリ/安全防止ロック付き
    ・密閉可能なシーリングタイプ

    ▼用途
    ・装置内の圧力・流量調整
    ・真空バルブとしては開口コンダクタンスが最大で、面間距離が短く、密閉も可能な小型・軽量バルブです

    ▼サイズ・仕様
    ・ボディ材質:SUS304
    ・フランジ接続:NW40,NW50
    ・バルブ部(弁体)にはOリングがついています
    ・軸部分にはメインシールに加えてサブのOリング付き
    ・細かい流量調整が可能なメモリ付き

    ▼その他
    ・上記以外のサイズ、フランジ規格、材質も対応可能です
    ・バルブ部(弁体)にOリングにないタイプはご相談ください
    自動制御バタフライバルブもご用意しております

    使用可能圧力 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    最低温度 10℃
    最高温度 150℃
    初回サービスまでサイクル 200,000 (常温、クリーン環境使用時)
    NW/KF 50
    DN(内径) 50
    タイプ バルブ部Viton®付属
    ボディ SUS 304
    A 70
    B 50.3
    C 57
    D 82
    L(長さ) 115
    94,300円 (税込103,730円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :60240
    型式 :ABS050KSLOS1

    ▼バタフライバルブ(APC)
    ・NOVASEN社製
    ・自動制御のバタフライコントロールバルブ
    ・APC:Automatic Pressure Control

    ▼用途
    ・装置内の圧力・流量調整

    ▼特徴
    ・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
    ・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
    ・製品保証期間は1年
    ・アフターサービスも対応しております
    CE認証取得済み

    ▼サイズ・仕様
    ・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
    ・サイズはDN25-320までを標準規格化
    ・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
    ・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
    ・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
    ・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
    ※初回サービスまでサイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。

    ▼その他
    ・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
    ・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
    ※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
    手動バタフライバルブも取り扱いがございます。

    使用可能圧力 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    最低温度 10℃
    最高温度 150℃
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max.
    入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く
    NW/KF 50
    DN(内径) 50
    タイプ バルブ部Viton®付属
    ボディ SUS 304
    インターフェイス Logic
    パワーオプション SPS
    センサー数 1
    別途お見積り
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :60241
    型式 :ABS100FAR3B2

    ▼バタフライバルブ(APC)
    ・NOVASEN社製
    ・自動制御のバタフライコントロールバルブ
    ・APC:Automatic Pressure Control

    ▼用途
    ・装置内の圧力・流量調整

    ▼特徴
    ・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
    ・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
    ・製品保証期間は1年
    ・アフターサービスも対応しております
    CE認証取得済み

    ▼サイズ・仕様
    ・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
    ・サイズはDN25-320までを標準規格化
    ・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
    ・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
    ・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
    ・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
    ※初回サービスまでサイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。

    ▼その他
    ・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
    ・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
    ※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
    手動バタフライバルブも取り扱いがございます。

    使用可能圧力 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    最低温度 10℃
    最高温度 150℃
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max.
    入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く
    ISO-F 100
    DN(内径) 100
    タイプ バルブ部Viton®付属
    ボディ アルミ
    インターフェイス RS232+Analog Output
    パワーオプション Basic
    センサー数 2
    別途お見積り
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :60242
    型式 :ABN040KSR3B2

    ▼バタフライバルブ(APC)
    ・NOVASEN社製
    ・自動制御のバタフライコントロールバルブ
    ・APC:Automatic Pressure Control

    ▼用途
    ・装置内の圧力・流量調整

    ▼特徴
    ・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
    ・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
    ・製品保証期間は1年
    ・アフターサービスも対応しております
    CE認証取得済み

    ▼サイズ・仕様
    ・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
    ・サイズはDN25-320までを標準規格化
    ・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
    ・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
    ・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
    ・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
    ※初回サービスまでサイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。

    ▼その他
    ・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
    ・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
    ※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
    手動バタフライバルブも取り扱いがございます。

    使用可能圧力 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa
    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    最低温度 10℃
    最高温度 150℃
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max.
    入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く
    NW/KF 40
    DN(内径) 40
    タイプ バルブ部Viton®なし
    ボディ SUS 304
    インターフェイス RS232+Analog Output
    パワーオプション SPS
    センサー数 2
    別途お見積り
    この製品のお問い合わせ
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