フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| ボディ | SUS 316 |
| フレキ/ベローズ | SUS 321 |
| ハンドル | アルミ 2024-T4 |
| 最高温度 | 150℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
|---|---|
| 最高温度 | 150℃(ボディ)、80℃(全体) |
| タイプ | バルブ部Viton®付属 |
| ボディ | SUS 304 |
| 使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa |
|---|---|
| リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
| 最低温度 | 10℃ |
| 最高温度 | 150℃ |
| 初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
| 入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
| 入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
| 最高温度 | 80℃(複作動)、200℃(その他) |
|---|---|
| 使用可能圧力 | 600 kpa~ 1.33x10-5 kpa |
| リークレート | <1.0x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| 主要材質 | SUS 316(複作動)、SUS316L(その他) |
| 接面材質 | SUS 316(複作動)、SUS316L(その他) |
| シール/ガスケット材質 | PTFE |
| 内面処理 | Ra ≤ 0.8μm |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 16 |
| A | 40 |
| D | 56.8 |
| E | 60 |
| L(長さ) | 122〜141 |
| コンダクタンス[L/S] | 4 |
| 分類 | 手動 |
| 形状 | L型 |
| ボンネットシール | バイトン® |
| 最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 25 |
| A | 50 |
| D | 57 |
| E | 60 |
| L(長さ) | 128.4~148.2 |
| コンダクタンス[L/S] | 12.8 |
| 分類 | 手動 |
| 形状 | L型 |
| ボンネットシール | バイトン® |
| 最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| A | 65 |
| D | 75 |
| E | 60 |
| L(長さ) | 167.5~198.5 |
| コンダクタンス[L/S] | 41.8 |
| 分類 | 手動 |
| 形状 | L型 |
| ボンネットシール | バイトン® |
| 最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 50 |
| A | 70 |
| D | 89 |
| E | 60 |
| L(長さ) | 190.5~235.5 |
| コンダクタンス[L/S] | 71.9 |
| 分類 | 手動 |
| 形状 | L型 |
| ボンネットシール | バイトン® |
| 最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 25 |
| A | 50 |
| D | 57 |
| L(長さ) | 148.8 |
| コンダクタンス[L/S] | 12.8 |
| 分類 | 圧空(単作動) |
| 形状 | L型 |
| ボンネットシール | バイトン® |
| 最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| A | 65 |
| D | 76 |
| L(長さ) | 199.2 |
| コンダクタンス[L/S] | 41.8 |
| 分類 | 圧空(単作動) |
| 形状 | L型 |
| ボンネットシール | バイトン® |
| 最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 50 |
| A | 70 |
| D | 89 |
| L(長さ) | 246 |
| コンダクタンス[L/S] | 71.9 |
| 分類 | 圧空(単作動) |
| 形状 | L型 |
| ボンネットシール | バイトン® |
| 最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 16 |
| A | 39 |
| D | 48 |
| L(長さ) | 115 |
| 分類 | 圧空(複作動) |
| 形状 | L型 |
| ボンネットシール | バイトン® |
| 最高温度 | 100℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 25 |
| A | 43 |
| D | 48 |
| L(長さ) | 119 |
| 分類 | 圧空(複作動) |
| 形状 | L型 |
| ボンネットシール | バイトン® |
| 最高温度 | 100℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 40 |
| A | 50 |
| D | 60 |
| L(長さ) | 138 |
| 分類 | 圧空(複作動) |
| 形状 | L型 |
| ボンネットシール | バイトン® |
| 最高温度 | 100℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| NW/KF | 50 |
| A | 70 |
| D | 76 |
| L(長さ) | 186 |
| 分類 | 圧空(複作動) |
| 形状 | L型 |
| ボンネットシール | バイトン® |
| 最高温度 | 100℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 34 |
| A | 38 |
| D | 57.2 |
| E | 60 |
| L(長さ) | 120~139 |
| コンダクタンス[L/S] | 4 |
| 分類 | 手動 |
| 形状 | L型 |
| ボンネットシール | バイトン® |
| 最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| A | 63 |
| D | 76.2 |
| E | 60 |
| L(長さ) | 161~201 |
| コンダクタンス[L/S] | 26 |
| 分類 | 手動 |
| 形状 | L型 |
| ボンネットシール | バイトン® |
| 最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 114 |
| A | 91.2 |
| D | 122 |
| E | 60 |
| L(長さ) | 266 |
| コンダクタンス[L/S] | 170 |
| 分類 | 手動 |
| 形状 | L型 |
| ボンネットシール | 無酸素銅 |
| 最高温度 | 200℃(ハンドル以外) |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 152 |
| A | 118 |
| D | 152 |
| コンダクタンス[L/S] | 255.6 |
| 分類 | 手動 |
| 形状 | L型 |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 203 |
| A | 165.1 |
| D | 240 |
| E | 200 |
| L(長さ) | 443.6 |
| コンダクタンス[L/S] | 1208.7 |
| 分類 | 手動 |
| 形状 | L型 |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 34 |
| A | 64 |
| D | 42 |
| E | 57 |
| L(長さ) | 182 |
| 分類 | 圧空(単作動) |
| 形状 | L型 |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 70 |
| A | 63 |
| D | 76 |
| E | 52 |
| L(長さ) | 211 |
| 分類 | 圧空(単作動) |
| 形状 | L型 |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 114 |
| A | 85.7 |
| D | 99.5 |
| E | 54 |
| L(長さ) | 274.6 |
| 分類 | 圧空(単作動) |
| 形状 | L型 |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・形状:L型,Y型,Z型
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| ICF | 152 |
| A | 118 |
| D | 152 |
| L(長さ) | 357 |
| 分類 | 圧空(単作動) |
| 形状 | L型 |