フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| フランジ材質 | テフロン®(GRP) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | テフロン® |
| 最高温度 | 200℃ |
| 最低温度 | -50℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-4</sup>Pa・㎥/sec |
| 対応シール | エラストマーシール |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | SUS 316L |
| 寿命 | 10000回 |
| ベローズ板厚 | 0.15 |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| RoHS2対応 | ○ |