〔特長〕
・完全ドライの排気ユニット
・コンパクトサイズで小スペースに設置可能
・吸気口はKF40フランジのキャンペーン特別仕様
・100Vコンセントで使用可能
様々な用途での真空引きで活躍
・真空下での半導体測定
・ガス分析
・真空炉
・電子顕微鏡予備排気etc.
到達圧力:10-5 Pa 台
メインポンプ:ターボ分子ポンプ60 L/sec
補助ポンプ:ダイアフラム真空ポンプ 20 L/min
所要電気:単相100 V 0.3 kVA
質量:18 kg
最大寸法サイズ:340(W)×340(L)×368(H) mm
詳細仕様
説明動画