フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
特徴:
低真空から中真空まで使用可能。
内部が見やすくクリアな視認性。
4つの接続ポートで多目的に使用可能。
バルブセット2式を標準装備。
ロック機能があり安心。
金属ベースで高いシール性と高強度を実現。
ベース:4ポート(封止栓×2,ホース口φ9×2付属)
内寸:底面φ165×上面φ145×高さ175
最大寸法;W225×L213×H235
| 主要材質 | アルミ/ポリカーボネート |
|---|---|
| Oリング | FPM |
| 使用可能圧力 | 13.3 Pa |
| 質量(kg) | 3.0 Kg |
| 容量 | 3.3 L |
| RoHS対応 | ○ |
|---|---|
| 使用雰囲気温度(℃) | 7~40 |
| 実行排気速度(L/min) | 15(50Hz)/18(60Hz) |
| 到達圧力(Pa) | 39.9×10³ |
| モータ出力(W) | 40 |
| 質量(kg) | 3.6 |
| 吸・排気口(mm) | O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4) |
| RoHS対応 | ○ |
|---|---|
| 実行排気速度(L/min) | 20(50Hz)/23(60Hz) |
| 到達圧力(Pa) | 2.0×10² |
| モータ出力(W) | 80 |
| 質量(kg) | 7.5 |
| 吸・排気口(mm) | O.D.φ10×I.D.φ6 (Rc 1/8) |
| 使用雰囲気温度(℃) | 5~40 |
| RoHS対応 | ○ |
|---|---|
| 使用雰囲気温度(℃) | 0~40 |
| 実行排気速度(L/min) | 40(50Hz)/46(60Hz) |
| 到達圧力(Pa) | 1.0×10³ |
| モータ出力(W) | 100 |
| 質量(kg) | 10.3 |
| 吸・排気口(mm) | O.D.φ10×I.D.φ6 (G 1/4) |
| RoHS対応 | ○ |
|---|---|
| 使用雰囲気温度(℃) | 7~40 |
| 実行排気速度(L/min) | 60(50Hz)/72(60Hz) |
| 到達圧力(Pa) | 3.32×10³ |
| モータ出力(W) | 200 |
| 質量(kg) | 19 |
| 吸・排気口(mm) | O.D.φ14×I.D.φ9 (G 3/8) |