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                    〔特長〕
・完全ドライの排気ユニット
・コンパクトサイズで小スペースに設置可能
・100Vコンセントで使用可能
様々な用途での真空引きで活躍
・真空下での半導体測定
・ガス分析
・真空炉
・電子顕微鏡予備排気etc.
到達圧力:10-5 Pa 台
メインポンプ:ターボ分子ポンプ60 L/sec
補助ポンプ:ダイアフラム真空ポンプ 20 L/min
所要電気:単相100 V 0.3 kVA
質量:18 kg
最大寸法サイズ:340(W)×340(L)×368(H) mm
詳細仕様
説明動画
                
製品コード 型式  | 
                                                                                    ISO-K | 在庫・納期  | 
                                                                                単価 (税込)  | 
                                    
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| ISO-K | 
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フランジ