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アルバック社製　排気ユニット

アルバック社製　排気ユニット

〔特長〕
・完全ドライの排気ユニット
・コンパクトサイズで小スペースに設置可能
・100Vコンセントで使用可能

様々な用途での真空引きで活躍
・真空下での半導体測定
・ガス分析
・真空炉
・電子顕微鏡予備排気etc.

到達圧力：10-5 Pa 台
メインポンプ：ターボ分子ポンプ60 L/sec
補助ポンプ：ダイアフラム真空ポンプ　20 L/min
所要電気：単相100 V 0.3 kVA
質量：18 kg
最大寸法サイズ：340(W)×340(L)×368(H) mm


詳細仕様
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製品コード
型式
 ISO-K
在庫・納期
単価
(税込)
50113
VPT-060
63
ISO-K
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フランジ

アルバック社製　排気ユニット カタログ画像
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