フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| 接続タイプ | QD1KJBA |
|---|---|
| マグネット | サマリウムコバルト |
| 長寿命カソード | なし |
| ベーキング可能温度(電源は取り外した状態) マグネットあり | 100 ℃ |
| ベーキング可能温度(電源は取り外した状態) マグネットなし | 350 ℃ |
| 入力電力 電圧 | 12±1% V DC |
| 入力電力 電流 | 250~700 mA |
| 入力電力 周波数 | 50/60 Hz |
| 入力電力 電力 | 3~8.5 W |
| 出力電力 電圧 | +3500±20% |
| 出力電力 電圧(ショート回路) | 出力1:0~5,出力2:0~10 V DC |
| 出力電力 電流 | 1000 mA |
| 出力電力 電流(ショート回路) | 5 mA |
| 出力電力 電力 | 1.1 W max. |
| 環境 使用温度範囲 | 0~60 ℃ |
| 環境 湿度範囲(不凝縮性) | 0~80 % |
| アナログ出力信号 推奨入力インピーダンス | >1 MΩ |
| 起動可能圧力 | 1.3x10<sup>-2</sup> |
| シェル | A5052 + Niメッキ |
|---|---|
| 絶縁体 | PEEK® |
| 最高温度 | 100℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| RoHS2対応 | ○ |
| 真空・大気 | 真空用 |
| ネジ | SUS |
|---|---|
| 絶縁体 | PEEK® |
| 最高温度 | 250℃ |
| リークレート | <1.0x10<sup>-8</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| 真空・大気 | 真空用 |
| 使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa |
|---|---|
| リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
| 最低温度 | 10℃ |
| 最高温度 | 150℃ |
| 初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
| 入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
| 入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
|---|---|
| 最高温度 | 150℃(ボディ)、80℃(全体) |
| タイプ | バルブ部Viton®付属 |
| ボディ | SUS 304 |