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真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| 使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa |
|---|---|
| リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
| 最低温度 | 10℃ |
| 最高温度 | 150℃ |
| 初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
| 入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
| 入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC:Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-320までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※サイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。
| 使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa |
|---|---|
| リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
| 最低温度 | 10℃ |
| 最高温度 | 150℃ |
| 初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
| 入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
| 入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
| NW/KF | 50 |
| DN(内径) | 50 |
| タイプ | バルブ部Viton®付属 |
| ボディ | SUS 304 |
| インターフェイス | Logic |
| パワーオプション | SPS |
| センサー数 | 1 |
▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC:Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-320までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※サイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。
| 使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa |
|---|---|
| リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
| 最低温度 | 10℃ |
| 最高温度 | 150℃ |
| 初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
| 入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
| 入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
| NW/KF | 40 |
| DN(内径) | 40 |
| タイプ | バルブ部Viton®なし |
| ボディ | SUS 304 |
| インターフェイス | RS232+Analog Output |
| パワーオプション | SPS |
| センサー数 | 2 |
▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC:Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-320までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※サイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。
| 使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa |
|---|---|
| リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
| 最低温度 | 10℃ |
| 最高温度 | 150℃ |
| 初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
| 入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
| 入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
| ISO-F | 100 |
| DN(内径) | 100 |
| タイプ | バルブ部Viton®なし |
| ボディ | SUS 304 |
| インターフェイス | RS485 |
| パワーオプション | Basic |
| センサー数 | 1 |
▼手動ゲートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズ方式で高い気密保持が可能
・流量方向の厚みが少なく、導入しやすい
・弁体の口径が大きく、試料の出し入れにもご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼ICFタイプ(超高真空用)
・メタルシール可能なICFフランジタイプ
・メタルボンネットシール採用
・潤滑剤を使用していません
・圧力範囲:1×10⁻⁸ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ISOタイプ(高真空用)
・使用しやすいISOフランジタイプ
・Oリングシール式
・潤滑剤が塗布されています
・圧力範囲:1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ベーキング温度
・本体:150℃(ICFは閉時200℃まで)
・手動ハンドル:80℃
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| ICF | 70 |
|---|---|
| A | 45.4 |
| B | 52 |
| C | 51 |
| D | 63 |
| E | 90 |
| F | 88 |
| G | 119 |
| H | 113 |
| L(長さ) | 232 |
▼手動ゲートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズ方式で高い気密保持が可能
・流量方向の厚みが少なく、導入しやすい
・弁体の口径が大きく、試料の出し入れにもご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼ICFタイプ(超高真空用)
・メタルシール可能なICFフランジタイプ
・メタルボンネットシール採用
・潤滑剤を使用していません
・圧力範囲:1×10⁻⁸ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ISOタイプ(高真空用)
・使用しやすいISOフランジタイプ
・Oリングシール式
・潤滑剤が塗布されています
・圧力範囲:1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ベーキング温度
・本体:150℃(ICFは閉時200℃まで)
・手動ハンドル:80℃
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| ICF | 114 |
|---|---|
| A | 65 |
| B | 68 |
| C | 70 |
| D | 107 |
| E | 143 |
| F | 158 |
| G | 207 |
| H | 160 |
| L(長さ) | 367 |
▼手動ゲートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズ方式で高い気密保持が可能
・流量方向の厚みが少なく、導入しやすい
・弁体の口径が大きく、試料の出し入れにもご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼ICFタイプ(超高真空用)
・メタルシール可能なICFフランジタイプ
・メタルボンネットシール採用
・潤滑剤を使用していません
・圧力範囲:1×10⁻⁸ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ISOタイプ(高真空用)
・使用しやすいISOフランジタイプ
・Oリングシール式
・潤滑剤が塗布されています
・圧力範囲:1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ベーキング温度
・本体:150℃(ICFは閉時200℃まで)
・手動ハンドル:80℃
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| ICF | 152 |
|---|---|
| A | 69.6 |
| B | 68 |
| C | 70 |
| D | 146 |
| E | 182 |
| F | 222 |
| G | 297 |
| H | 160 |
| L(長さ) | 457 |
▼手動ゲートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズ方式で高い気密保持が可能
・流量方向の厚みが少なく、導入しやすい
・弁体の口径が大きく、試料の出し入れにもご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼ICFタイプ(超高真空用)
・メタルシール可能なICFフランジタイプ
・メタルボンネットシール採用
・潤滑剤を使用していません
・圧力範囲:1×10⁻⁸ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ISOタイプ(高真空用)
・使用しやすいISOフランジタイプ
・Oリングシール式
・潤滑剤が塗布されています
・圧力範囲:1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ベーキング温度
・本体:150℃(ICFは閉時200℃まで)
・手動ハンドル:80℃
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| ICF | 203 |
|---|---|
| A | 79 |
| B | 70 |
| C | 78 |
| D | 204 |
| E | 238 |
| F | 306.5 |
| G | 407 |
| H | 183 |
| L(長さ) | 590 |
▼手動ゲートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズ方式で高い気密保持が可能
・流量方向の厚みが少なく、導入しやすい
・弁体の口径が大きく、試料の出し入れにもご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼ICFタイプ(超高真空用)
・メタルシール可能なICFフランジタイプ
・メタルボンネットシール採用
・潤滑剤を使用していません
・圧力範囲:1×10⁻⁸ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ISOタイプ(高真空用)
・使用しやすいISOフランジタイプ
・Oリングシール式
・潤滑剤が塗布されています
・圧力範囲:1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ベーキング温度
・本体:150℃(ICFは閉時200℃まで)
・手動ハンドル:80℃
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| ICF | 253 |
|---|---|
| A | 84.4 |
| B | 70 |
| C | 78 |
| D | 245 |
| E | 282 |
| F | 382 |
| G | 506 |
| H | 224 |
| L(長さ) | 730 |
▼手動ゲートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズ方式で高い気密保持が可能
・流量方向の厚みが少なく、導入しやすい
・弁体の口径が大きく、試料の出し入れにもご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼ICFタイプ(超高真空用)
・メタルシール可能なICFフランジタイプ
・メタルボンネットシール採用
・潤滑剤を使用していません
・圧力範囲:1×10⁻⁸ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ISOタイプ(高真空用)
・使用しやすいISOフランジタイプ
・Oリングシール式
・潤滑剤が塗布されています
・圧力範囲:1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ベーキング温度
・本体:150℃(ICFは閉時200℃まで)
・手動ハンドル:80℃
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| ISO-F | 63 |
|---|---|
| A | 53 |
| B | 68 |
| C | 70 |
| D | 107 |
| E | 128 |
| F | 158 |
| G | 207 |
| H | 160 |
| L(長さ) | 367 |
▼手動ゲートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズ方式で高い気密保持が可能
・流量方向の厚みが少なく、導入しやすい
・弁体の口径が大きく、試料の出し入れにもご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼ICFタイプ(超高真空用)
・メタルシール可能なICFフランジタイプ
・メタルボンネットシール採用
・潤滑剤を使用していません
・圧力範囲:1×10⁻⁸ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ISOタイプ(高真空用)
・使用しやすいISOフランジタイプ
・Oリングシール式
・潤滑剤が塗布されています
・圧力範囲:1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ベーキング温度
・本体:150℃(ICFは閉時200℃まで)
・手動ハンドル:80℃
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| ISO-F | 100 |
|---|---|
| A | 53.6 |
| B | 68 |
| C | 70 |
| D | 146 |
| E | 170 |
| F | 222 |
| G | 297 |
| H | 160 |
| L(長さ) | 457 |
▼手動ゲートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズ方式で高い気密保持が可能
・流量方向の厚みが少なく、導入しやすい
・弁体の口径が大きく、試料の出し入れにもご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼ICFタイプ(超高真空用)
・メタルシール可能なICFフランジタイプ
・メタルボンネットシール採用
・潤滑剤を使用していません
・圧力範囲:1×10⁻⁸ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ISOタイプ(高真空用)
・使用しやすいISOフランジタイプ
・Oリングシール式
・潤滑剤が塗布されています
・圧力範囲:1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ベーキング温度
・本体:150℃(ICFは閉時200℃まで)
・手動ハンドル:80℃
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| ISO-F | 160 |
|---|---|
| A | 67 |
| B | 68 |
| C | 78 |
| D | 204 |
| E | 220 |
| F | 306.5 |
| G | 407 |
| H | 183 |
| L(長さ) | 590 |
▼手動ゲートバルブ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズ方式で高い気密保持が可能
・流量方向の厚みが少なく、導入しやすい
・弁体の口径が大きく、試料の出し入れにもご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼ICFタイプ(超高真空用)
・メタルシール可能なICFフランジタイプ
・メタルボンネットシール採用
・潤滑剤を使用していません
・圧力範囲:1×10⁻⁸ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ISOタイプ(高真空用)
・使用しやすいISOフランジタイプ
・Oリングシール式
・潤滑剤が塗布されています
・圧力範囲:1×10⁻⁶ ~ 1×10⁵ Pa・L/sec
▼ベーキング温度
・本体:150℃(ICFは閉時200℃まで)
・手動ハンドル:80℃
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
| ISO-F | 200 |
|---|---|
| A | 67 |
| B | 70 |
| C | 78 |
| D | 245 |
| E | 267 |
| F | 383 |
| G | 507 |
| H | 224 |
| L(長さ) | 731 |