フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| 使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa |
|---|---|
| リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
| 最低温度 | 10℃ |
| 最高温度 | 150℃ |
| 初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
| 入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
| 入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |