 フィードスルー
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                     絶縁碍子
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                     ビューポート
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                     真空配管部品
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                     真空バルブ
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                     導入機
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                     その他
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Φ254 L=390筒です。上下はICF305のパイプを取り付けています。
ICF253のフランジにビューポートを取り付ける予定です。
その他のポートは以下の通り。
ICF114:3個
ICF152:1個
ICF203:1個
ICF253:1個
NW25 :6個
NW40 :4個
内面はバフ400、外面はバフ#200です。
チャンバーご依頼時、以下タブ【見積時の確認事項】をご確認ください。
| 内面処理 | バフ400(Ra1.0)相当 | 
|---|---|
| 主要材質 | SUS 304 | 
ベーキング用のチャンバーです。
300x300x300のサイズです。
取り出し口の大きさは400x400です。
その他のポートは以下の通り。
ICF114:3個
ICF152:1個
ICF203:1個
ICF253:1個
NW25 :6個
NW40 :4個
ご希望に合わせて、水冷機構の設置や板厚の変更など対応いたします。
またヒンジをつけた蓋を作ることも可能です。
チャンバーご依頼時、以下タブ【見積時の確認事項】をご確認ください。
| 主要材質 | SUS 304 | 
|---|---|
| 内面処理 | バフ400(Ra1.0)相当 | 
球型チャンバーです。
ICF203のフランジが6面についています。
架台のご用意いたします。
チャンバーご依頼時、以下タブ【見積時の確認事項】をご確認ください。
| 主要材質 | SUS 304 | 
|---|---|
| 内面処理 | 電解研磨 | 
アルミの角チャンバーです。
削り出しで製作いたします。
チャンバーご依頼時、以下タブ【見積時の確認事項】をご確認ください。
| 主要材質 | アルミ5052 | 
|---|---|
| 内面処理 | なし | 
円筒のチャンバーです。
希望のポートやサイズ、ご指定ください。
チャンバーご依頼時、以下タブ【見積時の確認事項】をご確認ください。
| 主要材質 | SUS 304 | 
|---|---|
| 内面処理 | バフ400(Ra1.0)相当 | 
取っ手付き蓋 x1
VF450 x1
VG450 x1
ICF253 x1
ICF152 x1
ISO-K63 x1
NW25 x1
リークポート x1
チャンバーご依頼時、以下タブ【見積時の確認事項】をご確認ください。
| 主要材質 | SUS 304 | 
|---|---|
| 内面処理 | バフ400(Ra1.0)相当 |