フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
Φ254 L=390筒です。上下はICF305のパイプを取り付けています。
ICF253のフランジにビューポートを取り付ける予定です。
その他のポートは以下の通り。
ICF114:3個
ICF152:1個
ICF203:1個
ICF253:1個
NW25 :6個
NW40 :4個
NW63:1個
角フランジ:1個
内面はバフ400、外面はバフ#200です。
内容積:約19L
チャンバーご依頼時、以下タブ【見積時の確認事項】をご確認ください。
※製品コード・型式をクリックいただくと、ご覧いただけます。
製品コード 型式 |
内面処理 | 主要材質 | 在庫・納期 |
単価 (税込) |
|---|---|---|---|---|
| バフ400(Ra1.0)相当 | SUS 304 |
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| ブランクフランジ | シール | クランプ・ボルト | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 型式 | 数量 | 型式 | 数量 | 型式 | 数量 |
| ICF305F | 2 | ICF305GCU | 1 | BNW-M8X60LA | 3 |
| ICF253F | 1 | ICF253GCU | 1 | BNW-M8X60LA | 1 |
| ICF203F | 1 | ICF203GCU | 1 | BNW-M8X55LA | 1 |
| ICF152F | 1 | ICF152GCU | 1 | BNW-M8X50LA | 1 |
| ICF114F | 3 | ICF114GCU | 1 | BNW-M8X45LA | 1 |
| NW63BK | 1 | NW63BK | 1 | 30.111.763 | 1 |
| NW40BK | 4 | NW40CRSVA | 4 | NW40CWA | 4 |
| NW25BK | 6 | NW25BCRSVA | 6 | NW25CWA | 6 |
| 角フランジ用板(特注) | 1 | RTMD91/151GV | 1 | BW-M5X16LB | 1 |