真空部品 約8000種類 を常時在庫 当日出荷は17時まで受付(営業時間9:00〜18:00 土日祝除く)
主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-8</sup> Pa |
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調整可能最小リーク量※1 | <6.7x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
最高温度 | 450℃ |
ボディ | SUS 304 |
シール/ガスケット材質 | WC系超硬合金/Cu合金 |
使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa |
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リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 16 |
A | 40 |
D | 56.8 |
E | 60 |
L(長さ) | 122〜141 |
コンダクタンス[L/S] | 4 |
分類 | 手動 |
形状 | L型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
A | 50 |
D | 57 |
E | 60 |
L(長さ) | 128.4~148.2 |
コンダクタンス[L/S] | 12.8 |
分類 | 手動 |
形状 | L型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 40 |
A | 65 |
D | 75 |
E | 60 |
L(長さ) | 167.5~198.5 |
コンダクタンス[L/S] | 41.8 |
分類 | 手動 |
形状 | L型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 50 |
A | 70 |
D | 89 |
E | 60 |
L(長さ) | 190.5~235.5 |
コンダクタンス[L/S] | 71.9 |
分類 | 手動 |
形状 | L型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
A | 50 |
D | 57 |
L(長さ) | 148.8 |
コンダクタンス[L/S] | 12.8 |
分類 | 圧空(単作動) |
形状 | L型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 40 |
A | 65 |
D | 76 |
L(長さ) | 199.2 |
コンダクタンス[L/S] | 41.8 |
分類 | 圧空(単作動) |
形状 | L型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 50 |
A | 70 |
D | 89 |
L(長さ) | 246 |
コンダクタンス[L/S] | 71.9 |
分類 | 圧空(単作動) |
形状 | L型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 16 |
A | 39 |
D | 48 |
L(長さ) | 115 |
分類 | 圧空(複作動) |
形状 | L型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 100℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
A | 43 |
D | 48 |
L(長さ) | 119 |
分類 | 圧空(複作動) |
形状 | L型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 100℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 40 |
A | 50 |
D | 60 |
L(長さ) | 138 |
分類 | 圧空(複作動) |
形状 | L型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 100℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 50 |
A | 70 |
D | 76 |
L(長さ) | 186 |
分類 | 圧空(複作動) |
形状 | L型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 100℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 34 |
A | 38 |
D | 57.2 |
E | 60 |
L(長さ) | 120~139 |
コンダクタンス[L/S] | 4 |
分類 | 手動 |
形状 | L型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
---|---|
フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
A | 63 |
D | 76.2 |
E | 60 |
L(長さ) | 161~201 |
コンダクタンス[L/S] | 26 |
分類 | 手動 |
形状 | L型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
---|---|
フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 114 |
A | 105 |
D | 101.6 |
E | 60 |
L(長さ) | 227~268 |
コンダクタンス[L/S] | 29 |
分類 | 手動 |
形状 | L型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
---|---|
フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 16 |
A | 102 |
D | 60 |
E | 60.6 |
L(長さ) | 100~110 |
分類 | 手動 |
形状 | Y型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 200℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
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主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
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フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
A | 107 |
D | 60 |
E | 60.6 |
L(長さ) | 97~107 |
分類 | 手動 |
形状 | Y型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 200℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
---|---|
フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 40 |
A | 130 |
D | 60 |
E | 76.5 |
L(長さ) | 117~134 |
分類 | 手動 |
形状 | Y型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 200℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
---|---|
フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 50 |
A | 177.8 |
D | 60 |
E | 85 |
L(長さ) | 143~167 |
分類 | 手動 |
形状 | Y型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 200℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
---|---|
フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 16 |
A | 80 |
L(長さ) | 93 |
分類 | 圧空(複作動) |
形状 | Y型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 100℃ |
▼ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・手動式、圧空式をご用意しております
・流れ方向は任意にご使用いただけます
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・真空破壊用のリークポートもございます
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
---|---|
フレキ/ベローズ | AM-350 |
リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
A | 100 |
L(長さ) | 105 |
分類 | 圧空(複作動) |
形状 | Y型 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 100℃ |