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フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup>Pa |
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バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
オリフィス径 | Φ3.5 mm |
最高温度 | 125℃ |
シール/ガスケット材質 | バイトン® |
軸シール潤滑材 | 高真空用シリコーングリース |
バルブボディ軸 | SUS 304 |
弁体 | 黄銅(Niメッキ) |
ハンドル | フェノール樹脂 |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-8</sup>Pa |
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調整可能最小リーク量※1 | <6.7x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
最高温度 | 450℃ |
ボディ | SUS 304 |
シール/ガスケット材質 | WC系超硬合金/Cu合金 |
使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup>Pa |
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リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
▼ICF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(ICF):34,70,114
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 34 |
A | 38 |
D | 120 ~ 139 |
E | 60 |
L(長さ) | 120~139 |
コンダクタンス[L/S] | 4 |
▼ICF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(ICF):34,70,114
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
A | 63 |
D | 161 ~ 201 |
E | 60 |
L(長さ) | 161~201 |
コンダクタンス[L/S] | 26 |
▼ICF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(ICF):34,70,114
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 114 |
A | 105 |
D | 227 ~ 268 |
E | 60 |
L(長さ) | 227~268 |
コンダクタンス[L/S] | 29 |
▼ICF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・フランジサイズ(ICF):34
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:ICF,NW/KF
・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 34 |
A | 34 |
▼ICF リークバルブ
・真空装置内に大気や特定ガスを導入可能なリークバルブ
・高真空、超高真空装置(10⁻⁷Pa程度)にご使用いただけます
・NW/KFタイプ,ICFタイプでご用意しております
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup>Pa |
---|---|
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
オリフィス径 | Φ3.5 mm |
最高温度 | 125℃ |
シール/ガスケット材質 | バイトン® |
軸シール潤滑材 | 高真空用シリコーングリース |
バルブボディ軸 | SUS 304 |
弁体 | 黄銅(Niメッキ) |
ハンドル | フェノール樹脂 |
ICF | 70 |
A | 63 |
D | 27 |
L(長さ) | 75.5~82.5 |
▼バリアブルリークバルブ
・導入ガス流量の調節用
・オールメタル製(ベーキング450℃まで)
・超高真空対応(大気~10⁻⁸Pa 程度)
・用途:スパッタ装置や実験装置など
▼仕様
・ガスOUTLET:ICF70ポート
・ガスINLET:ICF34ポート
・調節可能最小リーク量:6.7x10E-9Pa・sec以下
※Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2Mpa時
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-8</sup>Pa |
---|---|
調整可能最小リーク量※1 | <6.7x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
最高温度 | 450℃ |
ボディ | SUS 304 |
シール/ガスケット材質 | WC系超硬合金/Cu合金 |
ICF | 70 |
ガスINLET側 | Φ8 |
▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC:Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-250までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※初回サービスまでサイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。
使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup>Pa |
---|---|
リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
NW | 50 |
DN(内径) | 50 |
タイプ | バルブ部Viton®付属 |
ボディ | SUS 304 |
インターフェイス | Logic |
パワーオプション | SPS |
センサー数 | 1 |
▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC:Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-250までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※初回サービスまでサイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。
使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup>Pa |
---|---|
リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
ISO-F | 100 |
DN(内径) | 100 |
タイプ | バルブ部Viton®付属 |
ボディ | アルミ |
インターフェイス | RS232+Analog Output |
パワーオプション | Basic |
センサー数 | 2 |
▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC:Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-250までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※初回サービスまでサイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。
使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup>Pa |
---|---|
リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
NW | 40 |
DN(内径) | 40 |
タイプ | バルブ部Viton®なし |
ボディ | SUS 304 |
インターフェイス | RS232+Analog Output |
パワーオプション | SPS |
センサー数 | 2 |
▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC:Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-250までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※初回サービスまでサイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。
使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup>Pa |
---|---|
リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
ISO-F | 100 |
DN(内径) | 100 |
タイプ | バルブ部Viton®なし |
ボディ | SUS 304 |
インターフェイス | RS485 |
パワーオプション | Basic |
センサー数 | 1 |