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真空配管部品 バルブ 製品一覧 真空配管部品
サブカテゴリ 5件 (1 ～5 件)
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フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup>Pa バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec オリフィス径 Φ3.5 mm 最高温度 125℃ シール/ガスケット材質 バイトン® 軸シール潤滑材 高真空用シリコーングリース バルブボディ軸 SUS 304 弁体 黄銅（Niメッキ） ハンドル フェノール樹脂 -
使用可能圧力 大気圧～10<sup>-8</sup>Pa 調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 450℃ ボディ SUS 304 シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金 -
使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. 入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く
製品 10件 (1 ～10 件)
- 表示件数
- 表示切替
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製品コード ：20489
型式 ：ICF34MABV▼ICF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(ICF)：34，70，114
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 34 A 38 D 120 ～ 139 E 60 L（長さ） 120～139 コンダクタンス[L/S] 4 -
製品コード ：20092
型式 ：ICF70MABV▼ICF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(ICF)：34，70，114
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 70 A 63 D 161 ～ 201 E 60 L（長さ） 161～201 コンダクタンス[L/S] 26 -
製品コード ：20579
型式 ：ICF114MABV▼ICF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は任意にご使用いただけます
・フランジサイズ(ICF)：34，70，114
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 114 A 105 D 227 ～ 268 E 60 L（長さ） 227～268 コンダクタンス[L/S] 29 -
製品コード ：20652
型式 ：ICF34MSBV▼ICF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
・大気と真空を隔離するためのバルブです
・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
・フランジサイズ(ICF)：34
※流量調整不可、開閉のみの調整となります
※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ：ICF，NW/KF
・L型，ストレート型，圧空式(NWのみ)
・真空破壊用のリークポートもございます
▼その他
・ボールバルブやバタフライバルブもご用意しております
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらからフランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ ICF 34 A 34
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製品コード ：26553
型式 ：ICF70ILTV▼ICF リークバルブ
・真空装置内に大気や特定ガスを導入可能なリークバルブ
・高真空、超高真空装置(10⁻⁷Pa程度)にご使用いただけます
・NW/KFタイプ，ICFタイプでご用意しております
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup>Pa バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec オリフィス径 Φ3.5 mm 最高温度 125℃ シール/ガスケット材質 バイトン® 軸シール潤滑材 高真空用シリコーングリース バルブボディ軸 SUS 304 弁体 黄銅（Niメッキ） ハンドル フェノール樹脂 ICF 70 A 63 D 27 L（長さ） 75.5~82.5 -
製品コード ：26551
型式 ：ICF70VLV▼バリアブルリークバルブ
・導入ガス流量の調節用
・オールメタル製(ベーキング450℃まで)
・超高真空対応(大気～10⁻⁸Pa 程度)
・用途：スパッタ装置や実験装置など
▼仕様
・ガスOUTLET：ICF70ポート
・ガスINLET：ICF34ポート
・調節可能最小リーク量：6.7ｘ10E-9Pa・sec以下
※Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2Mpa時
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください使用可能圧力 大気圧～10<sup>-8</sup>Pa 調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 450℃ ボディ SUS 304 シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金 ICF 70 ガスINLET側 Φ8 -
製品コード ：60240
型式 ：ABS050KSLOS1▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC：Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-250までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※初回サービスまでサイクルについて：シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. 入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く NW 50 DN（内径） 50 タイプ バルブ部Viton®付属 ボディ SUS 304 インターフェイス Logic パワーオプション SPS センサー数 1 -
製品コード ：60241
型式 ：ABS100FAR3B2▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC：Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-250までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※初回サービスまでサイクルについて：シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. 入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く ISO-F 100 DN（内径） 100 タイプ バルブ部Viton®付属 ボディ アルミ インターフェイス RS232+Analog Output パワーオプション Basic センサー数 2
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製品コード ：60242
型式 ：ABN040KSR3B2▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC：Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-250までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※初回サービスまでサイクルについて：シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. 入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く NW 40 DN（内径） 40 タイプ バルブ部Viton®なし ボディ SUS 304 インターフェイス RS232+Analog Output パワーオプション SPS センサー数 2 -
製品コード ：60243
型式 ：ABN100FSR4B1▼バタフライバルブ(APC)
・NOVASEN社製
・自動制御のバタフライコントロールバルブ
・APC：Automatic Pressure Control
▼用途
・装置内の圧力・流量調整
▼特徴
・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
・製品保証期間は1年
・アフターサービスも対応しております
・CE認証取得済み
▼サイズ・仕様
・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
・サイズはDN25-250までを標準規格化
・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
※初回サービスまでサイクルについて：シーリングタイプは20万回保証。
▼その他
・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
・手動バタフライバルブも取り扱いがございます。使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. 入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く ISO-F 100 DN（内径） 100 タイプ バルブ部Viton®なし ボディ SUS 304 インターフェイス RS485 パワーオプション Basic センサー数 1
