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真空配管部品 バルブ 製品一覧 真空配管部品

サブカテゴリ 4件 (1 ~4 件)

製品 15件 (1 ~15 件)

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  • 製品コード :20128
    型式 :NW16MABV

    ▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ・フランジサイズ(NW):10,16,25,40,50
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 16
    A 40
    D 56.8
    E 60
    L(長さ) 122〜141
    コンダクタンス[L/S] 4
    57,700円 (税込63,470円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20172
    型式 :NW25MABV

    ▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ・フランジサイズ(NW):10,16,25,40,50
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 25
    A 50
    D 57
    E 60
    L(長さ) 128.4~148.2
    コンダクタンス[L/S] 12.8
    39,700円 (税込43,670円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20216
    型式 :NW40MABV

    ▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ・フランジサイズ(NW):10,16,25,40,50
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 40
    A 65
    D 75
    E 60
    L(長さ) 167.5~198.5
    コンダクタンス[L/S] 41.8
    61,700円 (税込67,870円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20467
    型式 :NW50MABV

    ▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ・フランジサイズ(NW):10,16,25,40,50
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 50
    A 70
    D 89
    E 60
    L(長さ) 190.5~235.5
    コンダクタンス[L/S] 71.9
    79,100円 (税込87,010円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20489
    型式 :ICF34MABV

    ▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ・フランジサイズ(NW):10,16,25,40,50
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    ICF 34
    A 38
    D 120 ~ 139
    E 60
    L(長さ) 120~139
    コンダクタンス[L/S] 4
    59,700円 (税込65,670円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20092
    型式 :ICF70MABV

    ▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ・フランジサイズ(NW):10,16,25,40,50
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    ICF 70
    A 63
    D 161 ~ 201
    E 60
    L(長さ) 161~201
    コンダクタンス[L/S] 26
    77,900円 (税込85,690円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20579
    型式 :ICF114MABV

    ▼NW/KF 手動ベローズバルブ アングルタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ・フランジサイズ(NW):10,16,25,40,50
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼ベローズバルブは以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 304
    フレキ/ベローズ AM-350
    ボンネットシール バイトン®
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート(ボンネット部) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    リークレート(シートリーク) <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec
    RoHS2対応
    ICF 114
    A 105
    D 227 ~ 268
    E 60
    L(長さ) 227~268
    コンダクタンス[L/S] 29
    157,700円 (税込173,470円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20666
    型式 :NW16MSBV

    ▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
    ・フランジサイズ(NW):16,25
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 316
    フレキ/ベローズ SUS 321
    ハンドル アルミ 2024-T4
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 16
    A 30
    L(長さ) 106~108
    L1 86
    78,300円 (税込86,130円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20667
    型式 :NW25MSBV

    ▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
    ・フランジサイズ(NW):16,25
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 316
    フレキ/ベローズ SUS 321
    ハンドル アルミ 2024-T4
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    RoHS2対応
    NW/KF 25
    A 40
    L(長さ) 111~113
    L1 86
    79,600円 (税込87,560円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :20652
    型式 :ICF34MSBV

    ▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
    ・フランジサイズ(NW):16,25
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 316
    フレキ/ベローズ SUS 321
    ハンドル アルミ 2024-T4
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    RoHS2対応
    ICF 34
    A 34
    L(長さ) 110.7
    L1 104.1
    79,500円 (税込87,450円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :26551
    型式 :ICF70VLV

    ▼バリアブルリークバルブ
    ・導入ガス流量の調節用
    ・オールメタル製(ベーキング450℃まで)
    ・超高真空対応(大気~10⁻⁸Pa 程度)
    ・用途:スパッタ装置や実験装置など

    ▼仕様
    ・ガスOUTLET:ICF70ポート
    ・ガスINLET:ICF34ポート
    ・調節可能最小リーク量:6.7x10E-9Pa・sec以下
    ※Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2Mpa時

    ▼その他
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-8</sup>Pa
    調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec
    バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec
    最高温度 450℃
    ボディ SUS 304
    シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金
    ICF 70
    ガスINLET側 Φ8
    235,000円 (税込258,500円)
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :60240
    型式 :ABS050KSLOS1

    ▼バタフライバルブ(APC)
    ・NOVASEN社製
    ・自動制御のバタフライコントロールバルブ
    ・APC:Automatic Pressure Control

    ▼用途
    ・装置内の圧力・流量調整

    ▼特徴
    ・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
    ・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
    ・製品保証期間は1年
    ・アフターサービスも対応しております
    CE認証取得済み

    ▼サイズ・仕様
    ・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
    ・サイズはDN25-320までを標準規格化
    ・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
    ・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
    ・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
    ・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
    ※初回サービスまでサイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。

    ▼その他
    ・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
    ・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
    ※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
    手動バタフライバルブも取り扱いがございます。

    使用可能圧力 0.12MPa ~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    最低温度 10℃
    最高温度 150℃
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max.
    入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く
    NW/KF 50
    DN(内径) 50
    タイプ バルブ部Viton®付属
    ボディ SUS 304
    インターフェイス Logic
    パワーオプション SPS
    センサー数 1
    別途お見積り
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :60241
    型式 :ABS100FAR3B2

    ▼バタフライバルブ(APC)
    ・NOVASEN社製
    ・自動制御のバタフライコントロールバルブ
    ・APC:Automatic Pressure Control

    ▼用途
    ・装置内の圧力・流量調整

    ▼特徴
    ・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
    ・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
    ・製品保証期間は1年
    ・アフターサービスも対応しております
    CE認証取得済み

    ▼サイズ・仕様
    ・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
    ・サイズはDN25-320までを標準規格化
    ・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
    ・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
    ・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
    ・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
    ※初回サービスまでサイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。

    ▼その他
    ・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
    ・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
    ※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
    手動バタフライバルブも取り扱いがございます。

    使用可能圧力 0.12MPa ~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    最低温度 10℃
    最高温度 150℃
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max.
    入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く
    ISO-F 100
    DN(内径) 100
    タイプ バルブ部Viton®付属
    ボディ アルミ
    インターフェイス RS232+Analog Output
    パワーオプション Basic
    センサー数 2
    別途お見積り
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :60242
    型式 :ABN040KSR3B2

    ▼バタフライバルブ(APC)
    ・NOVASEN社製
    ・自動制御のバタフライコントロールバルブ
    ・APC:Automatic Pressure Control

    ▼用途
    ・装置内の圧力・流量調整

    ▼特徴
    ・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
    ・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
    ・製品保証期間は1年
    ・アフターサービスも対応しております
    CE認証取得済み

    ▼サイズ・仕様
    ・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
    ・サイズはDN25-320までを標準規格化
    ・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
    ・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
    ・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
    ・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
    ※初回サービスまでサイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。

    ▼その他
    ・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
    ・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
    ※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
    手動バタフライバルブも取り扱いがございます。

    使用可能圧力 0.12MPa ~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    最低温度 10℃
    最高温度 150℃
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max.
    入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く
    NW/KF 40
    DN(内径) 40
    タイプ バルブ部Viton®なし
    ボディ SUS 304
    インターフェイス RS232+Analog Output
    パワーオプション SPS
    センサー数 2
    別途お見積り
    この製品のお問い合わせ
  • 製品コード :60243
    型式 :ABN100FSR4B1

    ▼バタフライバルブ(APC)
    ・NOVASEN社製
    ・自動制御のバタフライコントロールバルブ
    ・APC:Automatic Pressure Control

    ▼用途
    ・装置内の圧力・流量調整

    ▼特徴
    ・大手バルブメーカーと比較しても遜色のない性能
    ・1-1.5ヶ月程度と短納期、かつ安価にご提供
    ・製品保証期間は1年
    ・アフターサービスも対応しております
    CE認証取得済み

    ▼サイズ・仕様
    ・ボディ材質はアルミ、SUS304、SUS316Lから選択可能
    ・サイズはDN25-320までを標準規格化
    ・フランジ規格はNW/KFフランジ、ISO-Fフランジを標準規格化
    ・ISO-Fフランジはキリ穴仕様
    ・上記以外のサイズ、フランジ規格も対応可能
    ・DN25-50まではNW/KFフランジ、DN63以上はISO-Fフランジをご利用いただいております
    ※初回サービスまでサイクルについて:シーリングタイプは20万回保証。

    ▼その他
    ・Oリングを取り付けたシーリングタイプもご用意しております
    ・詳細な仕様については製品カタログをご覧ください
    ※CC LINK及びProfibusは現在取り扱っておりません。
    手動バタフライバルブも取り扱いがございます。

    使用可能圧力 0.12MPa ~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    最低温度 10℃
    最高温度 150℃
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max.
    入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く
    ISO-F 100
    DN(内径) 100
    タイプ バルブ部Viton®なし
    ボディ SUS 304
    インターフェイス RS485
    パワーオプション Basic
    センサー数 1
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