フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| フランジ材質 | SUS316L/SUS304(CeFlX®/ICF) |
|---|---|
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -270℃ |
| 使用可能圧力 | 10<sup>-9</sup> Pa |
| RoHS2対応 | ○ |