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リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
---|---|
使用可能圧力 | 10<sup>-6</sup> Pa ~0.5Mpa |
プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.2 MPa |
プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.5 Mpa |
バルブ開時の許容最大差圧 | ≤ 0.1 Mpa |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
使用可能温度(ボディ) | 150 ℃ |
使用可能温度(アクチュエーター) | 120 ℃ |
使用可能温度(ポジションインディケーター) | 70 ℃ |
ボディ | SUS 316 |
プレート | SUS 316 |
ベローズ | SUS 316 |
ボンネットシール | FKM(Viton®) |
ポジションインディケーター(接点 | 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA |
▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40,NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質:SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
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使用可能圧力 | 10<sup>-6</sup> Pa ~0.5Mpa |
プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.2 MPa |
プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.5 Mpa |
バルブ開時の許容最大差圧 | ≤ 0.1 Mpa |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
使用可能温度(ボディ) | 150 ℃ |
使用可能温度(アクチュエーター) | 120 ℃ |
使用可能温度(ポジションインディケーター) | 70 ℃ |
ボディ | SUS 316 |
プレート | SUS 316 |
ベローズ | SUS 316 |
ボンネットシール | FKM(Viton®) |
ポジションインディケーター(接点 | 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA |
NW/KF | 40 |
▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40,NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質:SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
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使用可能圧力 | 10<sup>-6</sup> Pa ~0.5Mpa |
プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.2 MPa |
プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.5 Mpa |
バルブ開時の許容最大差圧 | ≤ 0.1 Mpa |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
使用可能温度(ボディ) | 150 ℃ |
使用可能温度(アクチュエーター) | 120 ℃ |
使用可能温度(ポジションインディケーター) | 70 ℃ |
ボディ | SUS 316 |
プレート | SUS 316 |
ベローズ | SUS 316 |
ボンネットシール | FKM(Viton®) |
ポジションインディケーター(接点 | 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA |
NW/KF | 50 |
※こちらは既に弊社T熱電対をご利用中のお客様向けページです※
真空側インサート、大気側プラグにASSY可能なランスありタイプのソケットコンタクトです
初めて弊社T熱電対フィードスルーをご利用される方は、以下のソケットコンタクトをご利用ください
T熱電対用 ソケットコンタクトφ1.6 用(ランスなし)
製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
分類 | 周辺部品 |
---|---|
総電流/1端子 | Milli |
RoHS2対応 | ○ |
タイプ | 熱電対 Tタイプ |
コンタクト | 銅 |
形状 | ソケット |
適用電線サイズ | 0.9 MAX. |
最高温度 | 150℃ |
最低温度 | -55℃ |
入数 | 1 |
※こちらは既に弊社T熱電対をご利用中のお客様向けページです※
真空側インサート、大気側プラグにASSY可能なランスありタイプのソケットコンタクトです
初めて弊社T熱電対フィードスルーをご利用される方は、以下のソケットコンタクトをご利用ください
T熱電対用 ソケットコンタクトφ1.6 用(ランスなし)
製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
分類 | 周辺部品 |
---|---|
総電流/1端子 | Milli |
RoHS2対応 | ○ |
タイプ | 熱電対 Tタイプ |
コンタクト | コンスタンタン® |
形状 | ソケット |
適用電線サイズ | 0.9 MAX. |
最高温度 | 150℃ |
最低温度 | -55℃ |
入数 | 1 |