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限定品 製品一覧 限定品
サブカテゴリ 2件 (1 ～2 件)
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リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
製品 4件 (1 ～4 件)
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製品コード ：60246
型式 ：NW40PASFV▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40，NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質：SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡くださいリークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA NW/KF 40 -
製品コード ：60237
型式 ：NW50PASFV▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40，NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質：SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡くださいリークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA NW/KF 50 -
製品コード ：12328
型式 ：SVC16CU※こちらは既に弊社T熱電対をご利用中のお客様向けページです※
真空側インサート、大気側プラグにASSY可能なランスありタイプのソケットコンタクトです
初めて弊社T熱電対フィードスルーをご利用される方は、以下のソケットコンタクトをご利用ください
T熱電対用 ソケットコンタクトφ1.6 用(ランスなし）
製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください分類 周辺部品 電流値: 全体 Milli RoHS2対応 ○ タイプ 熱電対 Tタイプ コンタクト 銅 形状 ソケット 適用電線サイズ 0.9 MAX. 最高温度 150℃ 最低温度 -55℃ 入数 1 -
製品コード ：12329
型式 ：SVC16CT※こちらは既に弊社T熱電対をご利用中のお客様向けページです※
真空側インサート、大気側プラグにASSY可能なランスありタイプのソケットコンタクトです
初めて弊社T熱電対フィードスルーをご利用される方は、以下のソケットコンタクトをご利用ください
T熱電対用 ソケットコンタクトφ1.6 用(ランスなし）
製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください分類 周辺部品 電流値: 全体 Milli RoHS2対応 ○ タイプ 熱電対 Tタイプ コンタクト コンスタンタン® 形状 ソケット 適用電線サイズ 0.9 MAX. 最高温度 150℃ 最低温度 -55℃ 入数 1
