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サブカテゴリ 2件 (1 ~2 件)

製品 4件 (1 ~4 件)

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  • 製品コード :60246
    型式 :NW40PASFV

    ▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
    ・ソフト排気用L字型アングルバルブ
    ・圧空操作式
    ・汎用性の高いNW40,NW50サイズで標準規格化
    ・ボディ材質:SUS

    ▼ソフト排気について
    ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
    パーティクルなどが舞うのを防止します

    ▼特徴
    ・開口量をダイヤルで設定可能
    ・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
    ・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
    ・差圧が大きくても作動可能

    ▼オプション
    ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
    詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ~0.5Mpa
    プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa
    プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa
    バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    使用可能温度(ボディ) 150 ℃
    使用可能温度(アクチュエーター) 120 ℃
    使用可能温度(ポジションインディケーター) 70 ℃
    ボディ SUS 316
    プレート SUS 316
    ベローズ SUS 316
    ボンネットシール FKM(Viton®)
    ポジションインディケーター(接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
    NW/KF 40
    258,000円 (税込283,800円)
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  • 製品コード :60237
    型式 :NW50PASFV

    ▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
    ・ソフト排気用L字型アングルバルブ
    ・圧空操作式
    ・汎用性の高いNW40,NW50サイズで標準規格化
    ・ボディ材質:SUS

    ▼ソフト排気について
    ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
    パーティクルなどが舞うのを防止します

    ▼特徴
    ・開口量をダイヤルで設定可能
    ・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
    ・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
    ・差圧が大きくても作動可能

    ▼オプション
    ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
    詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    使用可能圧力 10<sup>-6</sup> Pa ~0.5Mpa
    プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa
    プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa
    バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    使用可能温度(ボディ) 150 ℃
    使用可能温度(アクチュエーター) 120 ℃
    使用可能温度(ポジションインディケーター) 70 ℃
    ボディ SUS 316
    プレート SUS 316
    ベローズ SUS 316
    ボンネットシール FKM(Viton®)
    ポジションインディケーター(接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
    NW/KF 50
    309,000円 (税込339,900円)
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  • 製品コード :12328
    型式 :SVC16CU

    ※こちらは既に弊社T熱電対をご利用中のお客様向けページです※

    真空側インサート、大気側プラグにASSY可能なランスありタイプのソケットコンタクトです

    初めて弊社T熱電対フィードスルーをご利用される方は、以下のソケットコンタクトをご利用ください
    T熱電対用 ソケットコンタクトφ1.6 用(ランスなし)

    製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    分類 周辺部品
    総電流/1端子 Milli
    RoHS2対応
    タイプ 熱電対 Tタイプ
    コンタクト
    形状 ソケット
    適用電線サイズ 0.9 MAX.
    最高温度 150℃
    最低温度 -55℃
    入数 1
    4,300円 (税込4,730円)
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  • 製品コード :12329
    型式 :SVC16CT

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    真空側インサート、大気側プラグにASSY可能なランスありタイプのソケットコンタクトです

    初めて弊社T熱電対フィードスルーをご利用される方は、以下のソケットコンタクトをご利用ください
    T熱電対用 ソケットコンタクトφ1.6 用(ランスなし)

    製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    分類 周辺部品
    総電流/1端子 Milli
    RoHS2対応
    タイプ 熱電対 Tタイプ
    コンタクト コンスタンタン®
    形状 ソケット
    適用電線サイズ 0.9 MAX.
    最高温度 150℃
    最低温度 -55℃
    入数 1
    4,300円 (税込4,730円)
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