フィードスルー
絶縁碍子
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真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス |
| 最高温度 | 350℃ |
| リークレート | <1.0x10<sup>-8</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| フランジ材質 | SUS(329J3L) |
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス |
| 最高温度 | 280℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール |
| 加圧 | NW63以下 ○、NW80以上✖︎ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ◎ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| 鉛当量(mmPb) | 1.5 |
|---|---|
| 熱膨張係数(/℃) | 80✕10<sup>-7</sup>(30~380℃) |
| 軟化点(℃) | 585 |
| 曲げ強度(MPa) | 25 |
| ヤング率(GPa) | 63 |
| ポワソン比 | 0.24 |
| ヌープ硬度 | 370 |
| 屈折率(Na-D線) | 1.71 |
| リンク | アルミ |
|---|---|
| ストラップ | SUS 316L |
| ノブ/ナット | FRP |
| クランピングスクリュー | SUS 316L |
| クランピングボルト | アルミ |
| 最高温度 | 100℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| RoHS2対応 | ○ |
| リンク | FRP |
|---|---|
| ノブ/ナット | FRP |
| クランピングスクリュー | ステンレス |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
| 対応シール | エラストマーシール専用 |
| 締付方法 | 手締め |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | △ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| リンク | アルミ |
|---|---|
| ノブ/ナット | FRP(ノブ) |
| クランピングボルト | FRP |
| 最高温度 | 150℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
| 対応シール | エラストマーシール専用 |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐放射線性 | ○ |
| 耐薬品性 | △ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| 締付方法 | 手締め |
| RoHS2対応 | ○ |
| リンク | アルミ |
|---|---|
| ノブ/ナット | SUS(ナット) |
| クランピングスクリュー | ステンレス |
| クランピングボルト | アルミ |
| 最高温度 | 100℃ |
| 最低温度 | -271℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
| 対応シール | エラストマーシール専用 |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐放射線性 | ○ |
| 耐薬品性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | △ |
| 絶縁性 | ○ |
| 締付方法 | トルクレンチ |
| RoHS2対応 | ○ |
| リンク | ステンレス |
|---|---|
| ストラップ | ステンレス |
| ノブ/ナット | SUS(ボルト) |
| クランピングスクリュー | ステンレス |
| 最高温度 | 350℃ |
| 最低温度 | -271℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
| 対応シール | エラストマーシール専用 |
| 加圧 | ○ |
| 耐放射線性 | ○ |
| 耐薬品性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | △ |
| 絶縁性 | ○ |
| 締付方法 | トルクレンチ |
| RoHS2対応 | ○ |
| ノブ/ナット | SUS |
|---|---|
| クランピングスクリュー | ステンレス |
| クランピングボルト | アルミ |
| 最高温度 | 150℃ |
| 最低温度 | -270℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
| 対応シール | エラストマーシール/メタルシール |
| 非磁性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | △ |
| 締付方法 | トルクレンチ |
| RoHS2対応 | ○ |
| リンク | ステンレス |
|---|---|
| ストラップ | ステンレス |
| ノブ/ナット | SUS |
| クランピングスクリュー | ステンレス |
| クランピングボルト | ステンレス |
| 最高温度 | 315℃ |
| 最低温度 | -270℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
| 対応シール | アルミ/無酸素銅/ニッケル |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐放射線性 | ○ |
| 耐薬品性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | △ |
| 締付方法 | トルクレンチ |
| RoHS2対応 | ○ |