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ICF ビューポートシャッター
真空チャンバー内で発生した蒸発物質等をシャッターに付着させ、ビューポートを常にクリアーに保ちます。また、RHEED（反射光速電子解析）、光学系の遮蔽に使用されています。
ICF 70 ～ ICF 203 までを標準規格化しております。
シャッターはマグネットカップリングの導入機で制御されています。
交換用部品として、シャッターのみのご用意もございます。
| 基本情報 | |
|---|---|
| 主要材質 | SUS 316L |
| RoHS2対応 | ○ |
4 件の型式候補があります
※製品コード・型式をクリックいただくと、ご覧いただけます。
| 製品コード / 型式 | ICF | A | B | C | D | 在庫・納期 | 単価(税抜) | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 20442 / ICF70VPS | 70 | 38.4 | 19.1 | 44.5 | 145 |
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製品コード ：20442
型式 ：ICF70VPS
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| 20443 / ICF114VPS | 114 | 63.8 | 17.3 | 60.1 | 165 |
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製品コード ：20443
型式 ：ICF114VPS
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| 20439 / ICF152VPS | 152 | 101.9 | 19.8 | 81 | 183 |
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| 20437 / ICF203VPS | 203 | 152.9 | 22.1 | 137.4 | 200.2 |
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製品コード ：20437
型式 ：ICF203VPS
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