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ICF ビューポートシャッター

ICF ビューポートシャッター

真空チャンバー内で発生した蒸発物質等をシャッターに付着させ、ビューポートを常にクリアーに保ちます。また、RHEED(反射光速電子解析)、光学系の遮蔽に使用されています。
ICF 70 ~ ICF 203 までを標準規格化しております。
シャッターはマグネットカップリングの導入機で制御されています。
交換用部品として、シャッターのみのご用意もございます。

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基本情報
主要材質 SUS 316L
RoHS2対応
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4 件の型式候補があります

※製品コード・型式をクリックいただくと、ご覧いただけます。

製品コード / 型式 ICF A B C D 在庫・納期 単価(税抜)
20442 / ICF70VPS 70 38.4 19.1 44.5 145
ICF70 ビューポートシャッター 寸法画像
ICF A B C D
70 38.4 19.1 44.5 145
製品コード :20442    型式 :ICF70VPS
20443 / ICF114VPS 114 63.8 17.3 60.1 165
ICF114 ビューポートシャッター 寸法画像
ICF A B C D
114 63.8 17.3 60.1 165
製品コード :20443    型式 :ICF114VPS
20439 / ICF152VPS 152 101.9 19.8 81 183
ICF152 ビューポートシャッター 寸法画像
ICF A B C D
152 101.9 19.8 81 183
製品コード :20439    型式 :ICF152VPS
20437 / ICF203VPS 203 152.9 22.1 137.4 200.2
ICF203 ビューポートシャッター 寸法画像
ICF A B C D
203 152.9 22.1 137.4 200.2
製品コード :20437    型式 :ICF203VPS
ICF ビューポートシャッター カタログ画像
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