フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| タイプ | 光ファイバー |
|---|---|
| ファイバー | 石英 |
| リークレート | <5.5x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| 参考耐圧値(MPa) | 1 |
| 主要材質 | SUS 304 |
| 絶縁体 | エポキシ |
| 接続タイプ | FC/PC |
| RoHS2対応 | ○ |
| タイプ | 高電圧・低電流 |
|---|---|
| 電極 | SUS 316L |
| フランジ材質 | SUS 316L |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 耐電圧: DC | 30 kV |
| 電流/1本 | 3 A |
| 電極数 | 1 |
| フィードスルー | 30kV / 3A |
| タイプ | SMA |
|---|---|
| 接続タイプ | 真空側・大気側プラグ嵌合 |
| 電極 | コバール® |
| フランジ材質 | SUS 304 |
| スリーブ | コバール® |
| 絶縁体 | アルミナセラミック |
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -196℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| 分類 | フランジ付き端子 |
| 種類 | グランドシールド |
| インピーダンス | 50 Ω |
| 周波数 | 15 GHz(参考値) |
| 絶縁抵抗値 | 10⁹ ohm |
| 耐電圧: DC | 1 kV |
| 電流/1本 | 3 A |
| RoHS2対応 | ○ |