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主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
最高温度 80℃(複作動)、200℃(その他) 使用可能圧力 600 kpa~ 1.33x10-5 kpa リークレート <1.0x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec 主要材質 SUS 316(複作動）、SUS316L（その他） 接面材質 SUS 316(複作動）、SUS316L（その他） シール/ガスケット材質 PTFE 内面処理 Ra ≤ 0.8μm -
使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. 入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く -
リークレート <1.3x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 150℃(ボディ)、80℃(全体) タイプ バルブ部Viton®付属 ボディ SUS 304 -
使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup> Pa バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec オリフィス径 Φ3.5 mm 最高温度 125℃ シール/ガスケット材質 バイトン® 軸シール潤滑材 高真空用シリコーングリース バルブボディ軸 SUS 304 弁体 黄銅（Niメッキ） ハンドル フェノール樹脂
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使用可能圧力 大気圧～10<sup>-8</sup> Pa 調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 450℃ ボディ SUS 304 シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金 -
使用可能圧力 大気圧～10<sup>-2</sup> Pa リークレート <5x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec コンダクタンス 420 L/min(20℃空気に対する分子流領域での値） 初回サービスまでサイクル 30,000又は1年 使用可能ガス 大気又はガス（腐食性除く） 最高温度 40℃ 最低温度 10℃
