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真空配管部品 製品一覧 真空配管部品
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最高温度 450℃ 最低温度 -270℃ 使用可能圧力 10<sup>-9</sup> Pa 加圧 ○ 非磁性 ○ 耐放射線性 ○ 耐薬品性 ○ クリーンルーム対応 ○ RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 SUS（329J3L） 窓 ホウケイ酸ガラス 最高温度 280℃ 最低温度 -20℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-9</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○
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継手規格 VCR® めす・VCR® おす 継手 SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 316L チューブ/パイプ SUS 316L RoHS2対応 ○
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継手 SUS 316L フレキ/ベローズ SUS 316L ブレード SUS 304 チューブ/パイプ SUS 316L RoHS2対応 ○
