最高温度 | 450℃ |
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最低温度 | -270℃ |
使用可能圧力 | 10<sup>-9</sup> Pa |
加圧 | ○ |
非磁性 | ○ |
耐放射線性 | ○ |
耐薬品性 | ○ |
クリーンルーム対応 | ○ |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS(329J3L) |
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窓 | ホウケイ酸ガラス |
最高温度 | 280℃ |
最低温度 | -20℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
継手規格 | VCR® めす・VCR® おす |
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継手 | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
チューブ/パイプ | SUS 316L |
RoHS2対応 | ○ |
継手 | SUS 316L |
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フレキ/ベローズ | SUS 316L |
ブレード | SUS 304 |
チューブ/パイプ | SUS 316L |
RoHS2対応 | ○ |
継手規格 | VCR® めす |
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継手 | SUS 316L |
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
ブレード | SUS 304 |
チューブ/パイプ | SUS 316L |
RoHS2対応 | ○ |
継手規格 | VCR® おす |
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継手 | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
ブレード | SUS 304 |
チューブ/パイプ | SUS 316L |
RoHS2対応 | ○ |