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真空配管部品 製品一覧 真空配管部品
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フランジ材質 SUS 304 最高温度 300℃ 最低温度 -270℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-9</sup>Pa 加圧 ○ RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 Duran®（ホウケイ酸ガラス） 最高温度 450℃ 最低温度 -50℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup>Pa 対応シール 専用エラストマーシール 加圧 ○ 非磁性 ○ 耐薬品性 ◎ クリーンルーム対応 ○ 絶縁性 ○ RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 石英 最高温度 1000℃ 最低温度 -50℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup>Pa 対応シール 専用エラストマーシール 加圧 ○ 非磁性 ○ 耐薬品性 ◎ クリーンルーム対応 ○ 絶縁性 ○ RoHS2対応 ○
