使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
---|---|
対応シール | 専用エラストマーシール |
加圧 | ○ |
非磁性 | ○ |
耐薬品性 | ◎ |
クリーンルーム対応 | ○ |
絶縁性 | ○ |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | テフロン®(GRP) |
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フレキ/ベローズ | テフロン® |
最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -50℃ |
リークレート | <1.3x10<sup>-4</sup>Pa・㎥/sec |
対応シール | エラストマーシール |
非磁性 | ○ |
耐薬品性 | ○ |
クリーンルーム対応 | ○ |
絶縁性 | ○ |
RoHS2対応 | ○ |
シール/ガスケット材質 | バイトン® |
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最高温度 | 200℃ |
最低温度 | -20℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
加圧 | ○ |
非磁性 | ○ |
クリーンルーム対応 | ○ |
RoHS2対応 | ○ |
アウターリング | テフロン® |
---|---|
インナーリング | テフロン® |
非磁性 | ○ |
耐薬品性 | ◎ |
クリーンルーム対応 | ○ |
絶縁性 | ○ |
RoHS2対応 | ○ |
最高温度 | 450℃ |
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最低温度 | -270℃ |
使用可能圧力 | 10<sup>-9</sup> Pa |
加圧 | ○ |
非磁性 | ○ |
耐放射線性 | ○ |
耐薬品性 | ○ |
クリーンルーム対応 | ○ |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS316L/SUS304(CeFlX®/ICF) |
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最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -270℃ |
使用可能圧力 | 10<sup>-9</sup> Pa |
RoHS2対応 | ○ |
リンク | FRP |
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ストラップ | SUS 316L |
ノブ/ナット | FRP |
クランピングスクリュー | SUS 316L |
クランピングボルト | FRP |
最高温度 | 60℃ |
最低温度 | -20℃ |
RoHS2対応 | ○ |