フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| フランジ材質 | テフロン®(GRP) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | テフロン® |
| 最高温度 | 200℃ |
| 最低温度 | -50℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-4</sup>Pa・㎥/sec |
| 対応シール | エラストマーシール |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| 最高温度 | 450℃ |
|---|---|
| 最低温度 | -270℃ |
| 使用可能圧力 | 10<sup>-9</sup> Pa |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐放射線性 | ○ |
| 耐薬品性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| フランジ材質 | SUS316L/SUS304(CeFlX®/ICF) |
|---|---|
| 最高温度 | 450℃ |
| 最低温度 | -270℃ |
| 使用可能圧力 | 10<sup>-9</sup> Pa |
| RoHS2対応 | ○ |
| リンク | FRP |
|---|---|
| ストラップ | SUS 316L |
| ノブ/ナット | FRP |
| クランピングスクリュー | SUS 316L |
| クランピングボルト | FRP |
| 最高温度 | 60℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| RoHS2対応 | ○ |
| シール/ガスケット材質 | バイトン® |
|---|---|
| 最高温度 | 200℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |