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真空配管部品 製品一覧 真空配管部品
カテゴリ16件
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鉛当量（mmPb) 1.5 熱膨張係数（/℃） 80✕10<sup>-7</sup>(30~380℃) 軟化点（℃） 585 曲げ強度（MPa） 25 ヤング率（GPa） 63 ポワソン比 0.24 ヌープ硬度 370 屈折率（Na-D線） 1.71 -
使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup> Pa 対応シール 専用エラストマーシール 非磁性 ○ 耐薬品性 ◎ クリーンルーム対応 ○ 絶縁性 ○ RoHS2対応 ○
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フランジ材質 SUS 304 窓 ホウケイ酸ガラス 最高温度 350℃ リークレート <1.0x10<sup>-8</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
ストラップ ステンレス クランピングスクリュー ステンレス クランピングボルト ステンレス 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-5</sup> Pa 対応シール エラストマーシール専用 加圧 ○ 非磁性 ○ クリーンルーム対応 ○ 絶縁性 ○ RoHS2対応 ○
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フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
使用可能圧力 大気圧～10<sup>-8</sup> Pa 調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 450℃ ボディ SUS 304 シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金
