フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ◎ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 窓 | ホウケイ酸ガラス |
| 最高温度 | 350℃ |
| リークレート | <1.0x10<sup>-8</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| ストラップ | ステンレス |
|---|---|
| クランピングスクリュー | ステンレス |
| クランピングボルト | ステンレス |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-5</sup> Pa |
| 対応シール | エラストマーシール専用 |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| ボディ | SUS 316 |
| フレキ/ベローズ | SUS 321 |
| ハンドル | アルミ 2024-T4 |
| 最高温度 | 150℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-8</sup> Pa |
|---|---|
| 調整可能最小リーク量※1 | <6.7x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| 最高温度 | 450℃ |
| ボディ | SUS 304 |
| シール/ガスケット材質 | WC系超硬合金/Cu合金 |
| フランジ材質 | SUS 304 |
|---|---|
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
| RoHS2対応 | ○ |