フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| 主要材質 | SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | AM-350 |
| リークレート(ボンネット部) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| リークレート(シートリーク) | <1.0x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
| RoHS2対応 | ○ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec |
|---|---|
| 最高温度 | 150℃(ボディ)、80℃(全体) |
| タイプ | バルブ部Viton®付属 |
| ボディ | SUS 304 |
| 最高温度 | 80℃(複作動)、200℃(その他) |
|---|---|
| 使用可能圧力 | 600 kpa~ 1.33x10-5 kpa |
| リークレート | <1.0x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| 主要材質 | SUS 316(複作動)、SUS316L(その他) |
| 接面材質 | SUS 316(複作動)、SUS316L(その他) |
| シール/ガスケット材質 | PTFE |
| 内面処理 | Ra ≤ 0.8μm |
| 使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa |
|---|---|
| リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
| 最低温度 | 10℃ |
| 最高温度 | 150℃ |
| 初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
| 入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
| 入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |