フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| 使用可能圧力 | 0.12MPa ~10<sup>-6</sup> Pa |
|---|---|
| リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
| 最低温度 | 10℃ |
| 最高温度 | 150℃ |
| 初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
| 入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
| 入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
| 鉛当量(mmPb) | 1.5 |
|---|---|
| 熱膨張係数(/℃) | 80✕10<sup>-7</sup>(30~380℃) |
| 軟化点(℃) | 585 |
| 曲げ強度(MPa) | 25 |
| ヤング率(GPa) | 63 |
| ポワソン比 | 0.24 |
| ヌープ硬度 | 370 |
| 屈折率(Na-D線) | 1.71 |