使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
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バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
オリフィス径 | Φ3.5 mm |
最高温度 | 125℃ |
シール/ガスケット材質 | バイトン® |
軸シール潤滑材 | 高真空用シリコーングリース |
バルブボディ軸 | SUS 304 |
弁体 | 黄銅(Niメッキ) |
ハンドル | フェノール樹脂 |
フランジ材質 | SUS 304 |
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窓 | ホウケイ酸ガラス |
最高温度 | 350℃ |
リークレート | <1.0x10<sup>-8</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
鉛当量(mmPb) | 1.5 |
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熱膨張係数(/℃) | 80✕10<sup>-7</sup>(30~380℃) |
軟化点(℃) | 585 |
曲げ強度(MPa) | 25 |
ヤング率(GPa) | 63 |
ポワソン比 | 0.24 |
ヌープ硬度 | 370 |
屈折率(Na-D線) | 1.71 |