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真空配管部品 ICF規格 製品一覧 真空配管部品
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使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup> Pa バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec オリフィス径 Φ3.5 mm 最高温度 125℃ シール/ガスケット材質 バイトン® 軸シール潤滑材 高真空用シリコーングリース バルブボディ軸 SUS 304 弁体 黄銅（Niメッキ） ハンドル フェノール樹脂 -
フランジ材質 SUS 304 窓 ホウケイ酸ガラス 最高温度 350℃ リークレート <1.0x10<sup>-8</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○
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鉛当量（mmPb) 1.5 熱膨張係数（/℃） 80✕10<sup>-7</sup>(30~380℃) 軟化点（℃） 585 曲げ強度（MPa） 25 ヤング率（GPa） 63 ポワソン比 0.24 ヌープ硬度 370 屈折率（Na-D線） 1.71
