フランジ材質 | SUS 304 |
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窓 | ホウケイ酸ガラス |
最高温度 | 350℃ |
リークレート | <1.0x10<sup>-8</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
ストラップ | ステンレス |
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クランピングスクリュー | ステンレス |
クランピングボルト | ステンレス |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-5</sup> Pa |
対応シール | エラストマーシール専用 |
加圧 | ○ |
非磁性 | ○ |
クリーンルーム対応 | ○ |
絶縁性 | ○ |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-8</sup> Pa |
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調整可能最小リーク量※1 | <6.7x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
最高温度 | 450℃ |
ボディ | SUS 304 |
シール/ガスケット材質 | WC系超硬合金/Cu合金 |
フランジ材質 | SUS 304 |
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使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-6</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
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フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |