真空部品 約8000種類 を常時在庫 当日出荷は17時まで受付(営業時間9:00〜18:00 土日祝除く)
使用可能圧力 | 0.12MPa ~10^-6 Pa |
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リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 200,000 (常温、クリーン環境使用時) |
使用可能圧力 | 0.12MPa ~10^-6 Pa |
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リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
最高温度 | 140℃ |
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最低温度 | -10℃ |
使用可能圧力 | 600 kpa~ 1.33x10-5 kpa |
リークレート | <1.3x10<sup>-8</sup>mbar・l/sec |
主要材質 | SUS 316L |
接面材質 | SUS316L |
シール/ガスケット材質 | PTFE |
内面処理 | Ra ≤ 0.8μm |