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真空配管部品
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導入機
その他
| インナーリング | テフロン® |
|---|---|
| シール/ガスケット材質 | バイトン® |
| 最高温度 | 200℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ◎ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| シール/ガスケット材質 | アルミ |
|---|---|
| 最高温度 | 150℃ |
| 最低温度 | -270℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
| リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
| 加圧 | - |
| 非磁性 | ○ |
| 耐放射線性 | ○ |
| 耐薬品性 | △ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| リンク | FRP |
|---|---|
| ノブ/ナット | FRP |
| クランピングスクリュー | ステンレス |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
| 対応シール | エラストマーシール専用 |
| 締付方法 | 手締め |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | △ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| リンク | アルミ |
|---|---|
| ストラップ | SUS 316L |
| ノブ/ナット | FRP |
| クランピングスクリュー | SUS 316L |
| クランピングボルト | アルミ |
| 最高温度 | 100℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| RoHS2対応 | ○ |
| リンク | アルミ |
|---|---|
| ノブ/ナット | FRP(ノブ) |
| クランピングボルト | FRP |
| 最高温度 | 150℃ |
| 最低温度 | -20℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
| 対応シール | エラストマーシール専用 |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐放射線性 | ○ |
| 耐薬品性 | △ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| 締付方法 | 手締め |
| RoHS2対応 | ○ |
| リンク | アルミ |
|---|---|
| ノブ/ナット | SUS(ナット) |
| クランピングスクリュー | ステンレス |
| クランピングボルト | アルミ |
| 最高温度 | 100℃ |
| 最低温度 | -271℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
| 対応シール | エラストマーシール専用 |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐放射線性 | ○ |
| 耐薬品性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | △ |
| 絶縁性 | ○ |
| 締付方法 | トルクレンチ |
| RoHS2対応 | ○ |
| リンク | ステンレス |
|---|---|
| ストラップ | ステンレス |
| ノブ/ナット | SUS(ボルト) |
| クランピングスクリュー | ステンレス |
| 最高温度 | 350℃ |
| 最低温度 | -271℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
| 対応シール | エラストマーシール専用 |
| 加圧 | ○ |
| 耐放射線性 | ○ |
| 耐薬品性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | △ |
| 絶縁性 | ○ |
| 締付方法 | トルクレンチ |
| RoHS2対応 | ○ |
| ノブ/ナット | SUS |
|---|---|
| クランピングスクリュー | ステンレス |
| クランピングボルト | アルミ |
| 最高温度 | 150℃ |
| 最低温度 | -270℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
| 対応シール | エラストマーシール/メタルシール |
| 非磁性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | △ |
| 締付方法 | トルクレンチ |
| RoHS2対応 | ○ |
| リンク | ステンレス |
|---|---|
| ストラップ | ステンレス |
| ノブ/ナット | SUS |
| クランピングスクリュー | ステンレス |
| クランピングボルト | ステンレス |
| 最高温度 | 315℃ |
| 最低温度 | -270℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
| 対応シール | アルミ/無酸素銅/ニッケル |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐放射線性 | ○ |
| 耐薬品性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | △ |
| 締付方法 | トルクレンチ |
| RoHS2対応 | ○ |
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
|---|---|
| 対応シール | 専用エラストマーシール |
| 加圧 | ○ |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ◎ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |
| フランジ材質 | テフロン®(GRP) |
|---|---|
| フレキ/ベローズ | テフロン® |
| 最高温度 | 200℃ |
| 最低温度 | -50℃ |
| リークレート | <1.3x10<sup>-4</sup>Pa・㎥/sec |
| 対応シール | エラストマーシール |
| 非磁性 | ○ |
| 耐薬品性 | ○ |
| クリーンルーム対応 | ○ |
| 絶縁性 | ○ |
| RoHS2対応 | ○ |