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真空配管部品 製品一覧 真空配管部品
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フランジ材質 SUS（329J3L） 窓 ホウケイ酸ガラス 最高温度 280℃ 最低温度 -20℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-9</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
使用可能圧力 大気圧～10<sup>-8</sup> Pa 調整可能最小リーク量※1 <6.7x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec 最高温度 450℃ ボディ SUS 304 シール/ガスケット材質 WC系超硬合金/Cu合金 -
フランジ材質 SUS 304 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec RoHS2対応 ○
