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真空配管部品 製品一覧 真空配管部品
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使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup> Pa バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec オリフィス径 Φ3.5 mm 最高温度 125℃ シール/ガスケット材質 バイトン® 軸シール潤滑材 高真空用シリコーングリース バルブボディ軸 SUS 304 弁体 黄銅（Niメッキ） ハンドル フェノール樹脂
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主要材質 SUS304(L型)、SUS304L(Y,Z型) フレキ/ベローズ AM-350 リークレート（ボンネット部） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <1.0x10<sup>-10</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○
