フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
|---|---|
| バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
| オリフィス径 | Φ3.5 mm |
| 最高温度 | 125℃ |
| シール/ガスケット材質 | バイトン® |
| 軸シール潤滑材 | 高真空用シリコーングリース |
| バルブボディ軸 | SUS 304 |
| 弁体 | 黄銅(Niメッキ) |
| ハンドル | フェノール樹脂 |