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真空配管部品 製品一覧 真空配管部品
カテゴリ18件
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使用可能圧力 大気圧～10<sup>-2</sup> Pa リークレート <5x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec コンダクタンス 420 L/min(20℃空気に対する分子流領域での値） 初回サービスまでサイクル 30,000又は1年 使用可能ガス 大気又はガス（腐食性除く） 最高温度 40℃ 最低温度 10℃
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使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup> Pa バルブ全閉時リーク量 <6.7x10<sup>-11</sup>Pa･㎥/sec オリフィス径 Φ3.5 mm 最高温度 125℃ シール/ガスケット材質 バイトン® 軸シール潤滑材 高真空用シリコーングリース バルブボディ軸 SUS 304 弁体 黄銅（Niメッキ） ハンドル フェノール樹脂
