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真空配管部品 製品一覧 真空配管部品
カテゴリ18件
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使用可能圧力 大気圧～10<sup>-9</sup> Pa 加圧 ○ 非磁性 ○ 耐放射線性 ○ 耐薬品性 ○ クリーンルーム対応 ○ RoHS2対応 ○
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最高温度 80℃(複作動)、200℃(その他) 使用可能圧力 600 kpa~ 1.33x10-5 kpa リークレート <1.0x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec 主要材質 SUS 316(複作動）、SUS316L（その他） 接面材質 SUS 316(複作動）、SUS316L（その他） シール/ガスケット材質 PTFE 内面処理 Ra ≤ 0.8μm
