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圧空式ソフト排気用アングルバルブ
▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
・ソフト排気用L字型アングルバルブ
・圧空操作式
・汎用性の高いNW40，NW50サイズで標準規格化
・ボディ材質：SUS
▼ソフト排気について
ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
パーティクルなどが舞うのを防止します
▼特徴
・開口量をダイヤルで設定可能
・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
・差圧が大きくても作動可能
▼オプション
ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
| 基本情報 | |
|---|---|
| リークレート | <1x10-7Pa･ℓ/sec |
| 使用可能圧力 | 10-6 Pa ～0.5Mpa |
| プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 | ≤ 0.2 MPa |
| プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 | ≤ 0.5 Mpa |
| バルブ開時の許容最大差圧 | ≤ 0.1 Mpa |
| 初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
| 使用可能温度（ボディ） | 150 ℃ |
| 使用可能温度（アクチュエーター） | 120 ℃ |
| 使用可能温度（ポジションインディケーター） | 70 ℃ |
| ボディ | SUS 316 |
| プレート | SUS 316 |
| ベローズ | SUS 316 |
| ボンネットシール | FKM(Viton®) |
| ポジションインディケーター（接点 | 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA |
2 件の型式候補があります
※製品コード・型式をクリックいただくと、ご覧いただけます。
| 製品コード / 型式 | NW/KF | 在庫・納期 |
単価(税込) |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 60246 / NW40PASFV | 40 |
欠品時
別途回答
|
258,000円 （税込283,800円） | ||||||||||||||||
製品コード ：60246
型式 ：NW40PASFV
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| 60237 / NW50PASFV | 50 |
欠品時
別途回答
|
309,000円 （税込339,900円） | ||||||||||||||||
製品コード ：60237
型式 ：NW50PASFV
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