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真空配管部品 バルブ 製品一覧 真空配管部品

サブカテゴリ 5件 (1 ~5 件)

製品 19件 (1 ~19 件)

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  • 製品コード :20652
    型式 :ICF34MSBV

    ▼NW/KF 手動ベローズバルブ ストレートタイプ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・ベローズシール方式を採用しているため、高い気密保持が可能
    ・流れ方向は本体側面矢印を確認ください
    ・フランジサイズ(NW):16,25
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります
    ※故障の原因となりますので開けすぎ、締めすぎにご注意ください

    ▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
    ・フランジ:ICF,NW/KF
    ・L型,ストレート型,圧空式(NWのみ)
    ・真空破壊用のリークポートもございます

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    フランジ材質 SUS 304
    ボディ SUS 316
    フレキ/ベローズ SUS 321
    ハンドル アルミ 2024-T4
    最高温度 150℃
    使用可能圧力 大気圧~10<sup>-6</sup>Pa
    リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec
    RoHS2対応
    ICF 34
    A 34
    L(長さ) 110.7
    L1 104.1
  • 製品コード :60246
    型式 :NW40PASFV

    ▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
    ・ソフト排気用L字型アングルバルブ
    ・圧空操作式
    ・汎用性の高いNW40,NW50サイズで標準規格化
    ・ボディ材質:SUS

    ▼ソフト排気について
    ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
    パーティクルなどが舞うのを防止します

    ▼特徴
    ・開口量をダイヤルで設定可能
    ・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
    ・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
    ・差圧が大きくても作動可能

    ▼オプション
    ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
    詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    使用可能圧力 10<sup>-6</sup>Pa ~0.5Mpa
    プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa
    プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa
    バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    使用可能温度(ボディ) 150 ℃
    使用可能温度(アクチュエーター) 120 ℃
    使用可能温度(ポジションインディケーター) 70 ℃
    ボディ SUS 316
    プレート SUS 316
    ベローズ SUS 316
    ボンネットシール FKM(Viton®)
    ポジションインディケーター(接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
    NW/KF 40
  • 製品コード :60237
    型式 :NW50PASFV

    ▼圧空式ソフト排気用アングルバルブ
    ・ソフト排気用L字型アングルバルブ
    ・圧空操作式
    ・汎用性の高いNW40,NW50サイズで標準規格化
    ・ボディ材質:SUS

    ▼ソフト排気について
    ソフト排気用バルブは、段階的に排気量を変えることで、ロードロックチャンバー内に発生する乱流を抑制し、
    パーティクルなどが舞うのを防止します

    ▼特徴
    ・開口量をダイヤルで設定可能
    ・メインバルブとソフトバルブの機能を1つで実現
    ・シンプルな設計でメンテナンスも簡単
    ・差圧が大きくても作動可能

    ▼オプション
    ボディをアルミ材質に変更することも可能です。
    詳しくは「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec
    使用可能圧力 10<sup>-6</sup>Pa ~0.5Mpa
    プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa
    プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa
    バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa
    初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時)
    使用可能温度(ボディ) 150 ℃
    使用可能温度(アクチュエーター) 120 ℃
    使用可能温度(ポジションインディケーター) 70 ℃
    ボディ SUS 316
    プレート SUS 316
    ベローズ SUS 316
    ボンネットシール FKM(Viton®)
    ポジションインディケーター(接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
    NW/KF 50
  • 製品コード :22174
    型式 :NW16PBV

    ▼圧空式ボールバルブ
    ・大気と真空を隔離するためのバルブです
    ・圧空操作式
    ・流れ方向は任意にご使用いただけます
    ※流量調整不可、開閉のみの調整となります

    ▼サイズ・仕様
    ・フランジサイズ(NW):16,25,40,50
    ・主要材質:SUS316L
    ・開閉:いずれも圧空操作
    ・操作空圧:0.4~0.8MPa

    ▼その他
    ボールバルブバタフライバルブもご用意しております
    ・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください

    精密洗浄のご依頼はこちらから

    最高温度 140℃
    最低温度 -10℃
    使用可能圧力 真空~ 800 kPa
    リークレート <1.3x10<sup>-8</sup>mbar・l/sec
    主要材質 SUS 316L
    接面材質 SUS316L
    シール/ガスケット材質 PTFE
    内面処理 Ra ≤ 0.8μm
    NW/KF 16
    A 30
    B 55
    C 135
    D 72
    H 163
    L1 110
    L2 147
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