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真空配管部品 バルブ 製品一覧 真空配管部品
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フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート（ボンネット部） <2x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec リークレート（シートリーク） <2x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 304 フレキ/ベローズ AM-350 ボンネットシール バイトン® 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
フランジ材質 SUS 304 ボディ SUS 316 フレキ/ベローズ SUS 321 ハンドル アルミ 2024-T4 最高温度 150℃ 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-6</sup>Pa リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ -
リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 使用可能圧力 10<sup>-6</sup>Pa ～0.5Mpa プレート（Oリング付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.2 MPa プレート（ベローズ付属側）に対する許容最大差圧 ≤ 0.5 Mpa バルブ開時の許容最大差圧 ≤ 0.1 Mpa 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 使用可能温度（ボディ） 150 ℃ 使用可能温度（アクチュエーター） 120 ℃ 使用可能温度（ポジションインディケーター） 70 ℃ ボディ SUS 316 プレート SUS 316 ベローズ SUS 316 ボンネットシール FKM(Viton®) ポジションインディケーター（接点 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
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最高温度 140℃ 最低温度 -10℃ 使用可能圧力 真空～ 800 kPa リークレート <1.3x10<sup>-8</sup>mbar･l/sec 主要材質 SUS 316L 接面材質 SUS316L シール/ガスケット材質 PTFE 内面処理 Ra ≤ 0.8μm
