真空部品 約8000種類 を常時在庫 当日出荷は17時まで受付(営業時間9:00〜18:00 土日祝除く)
フランジ材質 | SUS(329J3L) |
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窓 | ホウケイ酸ガラス |
最高温度 | 280℃ |
最低温度 | -20℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-9</sup> Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-8</sup> Pa |
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調整可能最小リーク量※1 | <6.7x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
最高温度 | 450℃ |
ボディ | SUS 304 |
シール/ガスケット材質 | WC系超硬合金/Cu合金 |