使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
---|---|
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
オリフィス径 | Φ3.5 mm |
最高温度 | 125℃ |
シール/ガスケット材質 | バイトン® |
軸シール潤滑材 | 高真空用シリコーングリース |
バルブボディ軸 | SUS 304 |
弁体 | 黄銅(Niメッキ) |
ハンドル | フェノール樹脂 |
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-8</sup> Pa |
---|---|
調整可能最小リーク量※1 | <6.7x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
最高温度 | 450℃ |
ボディ | SUS 304 |
シール/ガスケット材質 | WC系超硬合金/Cu合金 |
▼リークバルブ
・真空装置内に大気や特定ガスを導入可能なリークバルブ
・高真空、超高真空装置(10⁻⁷Pa程度)にご使用いただけます
・NW/KFタイプ,ICFタイプでご用意しております
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
---|---|
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
オリフィス径 | Φ3.5 mm |
最高温度 | 125℃ |
シール/ガスケット材質 | バイトン® |
軸シール潤滑材 | 高真空用シリコーングリース |
バルブボディ軸 | SUS 304 |
弁体 | 黄銅(Niメッキ) |
ハンドル | フェノール樹脂 |
NW/KF | 25 |
A | 40 |
D | 32 |
L(長さ) | 75.5~82.5 |
▼リークバルブ
・真空装置内に大気や特定ガスを導入可能なリークバルブ
・高真空、超高真空装置(10⁻⁷Pa程度)にご使用いただけます
・NW/KFタイプ,ICFタイプでご用意しております
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
---|---|
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
オリフィス径 | Φ3.5 mm |
最高温度 | 125℃ |
シール/ガスケット材質 | バイトン® |
軸シール潤滑材 | 高真空用シリコーングリース |
バルブボディ軸 | SUS 304 |
弁体 | 黄銅(Niメッキ) |
ハンドル | フェノール樹脂 |
NW/KF | 40 |
A | 55 |
D | 32 |
L(長さ) | 75.5~82.5 |
▼リークバルブ
・真空装置内に大気や特定ガスを導入可能なリークバルブ
・高真空、超高真空装置(10⁻⁷Pa程度)にご使用いただけます
・NW/KFタイプ,ICFタイプでご用意しております
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
---|---|
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
オリフィス径 | Φ3.5 mm |
最高温度 | 125℃ |
シール/ガスケット材質 | バイトン® |
軸シール潤滑材 | 高真空用シリコーングリース |
バルブボディ軸 | SUS 304 |
弁体 | 黄銅(Niメッキ) |
ハンドル | フェノール樹脂 |
ICF | 34 |
A | 34 |
D | 51 |
L(長さ) | 99 |
▼リークバルブ
・真空装置内に大気や特定ガスを導入可能なリークバルブ
・高真空、超高真空装置(10⁻⁷Pa程度)にご使用いただけます
・NW/KFタイプ,ICFタイプでご用意しております
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
---|---|
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
オリフィス径 | Φ3.5 mm |
最高温度 | 125℃ |
シール/ガスケット材質 | バイトン® |
軸シール潤滑材 | 高真空用シリコーングリース |
バルブボディ軸 | SUS 304 |
弁体 | 黄銅(Niメッキ) |
ハンドル | フェノール樹脂 |
ICF | 70 |
A | 70 |
D | 27 |
L(長さ) | 75.5~82.5 |
▼バリアブルリークバルブ
・導入ガス流量の調節用
・オールメタル製(ベーキング450℃まで)
・超高真空対応(大気~10⁻⁸Pa 程度)
・用途:スパッタ装置や実験装置など
▼仕様
・ガスOUTLET:ICF70ポート
・ガスINLET:ICF34ポート
・調節可能最小リーク量:6.7x10E-9Pa・sec以下
※Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2Mpa時
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-8</sup> Pa |
---|---|
調整可能最小リーク量※1 | <6.7x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
最高温度 | 450℃ |
ボディ | SUS 304 |
シール/ガスケット材質 | WC系超硬合金/Cu合金 |
ICF | 70 |
ガスINLET側 | Φ8 |