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RoHS2対応 ○ 絶縁性 ○ クリーンルーム対応 ○ 非磁性 ○ 加圧 ○ 対応シール エラストマーシール専用 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-5</sup> Pa クランピングボルト ステンレス クランピングスクリュー ステンレス ストラップ ステンレス
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RoHS2対応 ○ クリーンルーム対応 ○ 非磁性 ○ 加圧 ○ リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup> Pa 最低温度 -20℃ 最高温度 200℃ シール/ガスケット材質 バイトン® -
インナーリング SUS 316L RoHS2対応 ○ クリーンルーム対応 ○ 耐薬品性 ○ 非磁性 ○ リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup> Pa 最低温度 -20℃ 最高温度 200℃ シール/ガスケット材質 バイトン® 加圧 △ -
絶縁性 ○ RoHS2対応 ○ クリーンルーム対応 ○ 耐薬品性 ◎ 非磁性 ○ リークレート <1.3x10<sup>-7</sup>Pa･㎥/sec 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-7</sup> Pa 最低温度 -20℃ 最高温度 200℃ シール/ガスケット材質 バイトン® インナーリング テフロン® -
RoHS2対応 ○ 最高温度 150℃ クリーンルーム対応 ○ 耐薬品性 △ 耐放射線性 ○ 非磁性 ○ 加圧 - リークレート <1.3x10<sup>-9</sup>Pa･㎥/sec 使用可能圧力 大気圧～10<sup>-9</sup> Pa 最低温度 -270℃ シール/ガスケット材質 アルミ
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アウターリング テフロン® RoHS2対応 ○ 絶縁性 ○ クリーンルーム対応 ○ 耐薬品性 ◎ 非磁性 ○ インナーリング テフロン®
