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シェル A5052 + Niメッキ 絶縁体 PEEK® 最高温度 100℃ 最低温度 -196℃ RoHS2対応 ○ 真空・大気 真空用 -
ネジ SUS 絶縁体 PEEK® 最高温度 250℃ リークレート <1.0x10<sup>-8</sup>Pa･㎥/sec RoHS2対応 ○ 真空・大気 真空用
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使用可能圧力 0.12MPa ～10<sup>-6</sup> Pa リークレート <1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec 最低温度 10℃ 最高温度 150℃ 初回サービスまでサイクル 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) 入力電力 電圧 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. 入力電力 電力 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く
