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使用可能圧力 | 大気圧~10^-7 Pa |
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バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
オリフィス径 | Φ3.5 mm |
最高温度 | 125℃ |
シール/ガスケット材質 | バイトン® |
軸シール潤滑材 | 高真空用シリコーングリース |
バルブボディ軸 | SUS 304 |
弁体 | 黄銅(Niメッキ) |
ハンドル | フェノール樹脂 |
フランジ材質 | SUS 304 |
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窓 | ホウケイ酸ガラス |
最高温度 | 350℃ |
リークレート | <1.0x10<sup>-8</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
使用可能圧力 | 大気圧~10^-7 Pa |
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対応シール | 専用エラストマーシール |
加圧 | NW63以下 ○、NW80以上✖︎ |
非磁性 | ○ |
耐薬品性 | ◎ |
クリーンルーム対応 | ○ |
絶縁性 | ○ |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 304 |
フレキ/ベローズ | AM-350 |
ボンネットシール | バイトン® |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10^-6 Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
リークレート(ボンネット部) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
リークレート(シートリーク) | <2x10<sup>-9</sup>mbar-L/sec |
RoHS2対応 | ○ |
フランジ材質 | SUS 304 |
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ボディ | SUS 316 |
フレキ/ベローズ | SUS 321 |
ハンドル | アルミ 2024-T4 |
最高温度 | 150℃ |
使用可能圧力 | 大気圧~10^-6 Pa |
リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
RoHS2対応 | ○ |
リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
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使用可能圧力 | 10^-6 Pa ~0.5Mpa |
プレート(Oリング付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.2 MPa |
プレート(ベローズ付属側)に対する許容最大差圧 | ≤ 0.5 Mpa |
バルブ開時の許容最大差圧 | ≤ 0.1 Mpa |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
使用可能温度(ボディ) | 150 ℃ |
使用可能温度(アクチュエーター) | 120 ℃ |
使用可能温度(ポジションインディケーター) | 70 ℃ |
ボディ | SUS 316 |
プレート | SUS 316 |
ベローズ | SUS 316 |
ボンネットシール | FKM(Viton®) |
ポジションインディケーター(接点 | 10 - 28V/DC, 1 - 50 mA |
使用可能圧力 | 0.12MPa ~10^-6 Pa |
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リークレート | <1.3x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 200,000 (常温、クリーン環境使用時) |
使用可能圧力 | 0.12MPa ~10^-6 Pa |
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リークレート | <1x10<sup>-7</sup>Pa・ℓ/sec |
最低温度 | 10℃ |
最高温度 | 150℃ |
初回サービスまでサイクル | 2,000,000 (常温、クリーン環境使用時) |
入力電力 電圧 | 24 VDC (±10%) @0.5V pk-pk max. |
入力電力 電力 | 80 W max. (最大負荷時) PFO4は除く |
最高温度 | 140℃ |
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最低温度 | -10℃ |
使用可能圧力 | 600 kpa~ 1.33x10-5 kpa |
リークレート | <1.3x10<sup>-8</sup>mbar・l/sec |
主要材質 | SUS 316L |
接面材質 | SUS316L |
シール/ガスケット材質 | PTFE |
内面処理 | Ra ≤ 0.8μm |