 フィードスルー
                        フィードスルー
                     絶縁碍子
                        絶縁碍子
                     ビューポート
                        ビューポート
                     真空配管部品
                        真空配管部品
                     真空バルブ
                        真空バルブ
                     導入機
                        導入機
                     その他
                        その他
                    | タイプ | 絶縁フランジ | 
|---|---|
| キャップ | コバール® | 
| 絶縁体 | アルミナセラミック | 
| 最高温度 | 300℃ | 
| 最低温度 | -196℃ | 
| リークレート | <1.3x10<sup>-10</sup>Pa・㎥/sec | 
| RoHS2対応 | ○ | 
| 継手 | SUS 316L | 
|---|---|
| フレキ/ベローズ | SUS 316L | 
| ブレード | SUS 304 | 
| チューブ/パイプ | SUS 316L | 
| RoHS2対応 | ○ |