▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
---|---|
内面処理 | GBB処理 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
JIS10K | 15A |
A | 70 |
B | 95 |
C | 21.7 |
D | 17.5 |
P.C.D | 70 |
T | 12 |
L(長さ) | 60 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
---|---|
内面処理 | GBB処理 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
JIS10K | 20A |
A | 70 |
B | 100 |
C | 27.2 |
D | 23 |
P.C.D | 75 |
T | 14 |
L(長さ) | 60 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
---|---|
内面処理 | GBB処理 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
JIS10K | 25A |
A | 70 |
B | 125 |
C | 34 |
D | 28.4 |
P.C.D | 90 |
T | 14 |
L(長さ) | 60 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
---|---|
内面処理 | GBB処理 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
JIS10K | 32A |
A | 70 |
B | 135 |
C | 42.7 |
D | 37.1 |
P.C.D | 100 |
T | 16 |
L(長さ) | 60 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
---|---|
内面処理 | GBB処理 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
JIS10K | 40A |
A | 70 |
B | 140 |
C | 42.7 |
D | 37.1 |
P.C.D | 105 |
T | 16 |
L(長さ) | 60 |
▼JIS10K 規格変換ニップル
・配管の規格変換用
・ICF、JISフランジ締結方法:ボルト締め
・NWフランジ接続にはセンターリング、クランプもお選びください
・JIS10Kフランジ:FF座タイプ
・ボルト穴:キリ穴タイプ(スルーホール)
▼以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジサイズ(JIS10K):15A,20A,25A,32A,40A,50A
・変換フランジ規格:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS304
▼その他
・材質やフランジサイズの変更もご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
主要材質 | NW:SUS304, JIS10K:SUS304F |
---|---|
内面処理 | GBB処理 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
JIS10K | 50A |
A | 70 |
B | 155 |
C | 42.7 |
D | 37.1 |
P.C.D | 120 |
T | 16 |
L(長さ) | 60 |
▼リークバルブ
・真空装置内に大気や特定ガスを導入可能なリークバルブ
・高真空、超高真空装置(10⁻⁷Pa程度)にご使用いただけます
・NW/KFタイプ,ICFタイプでご用意しております
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-7</sup> Pa |
---|---|
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
オリフィス径 | Φ3.5 mm |
最高温度 | 125℃ |
シール/ガスケット材質 | バイトン® |
軸シール潤滑材 | 高真空用シリコーングリース |
バルブボディ軸 | SUS 304 |
弁体 | 黄銅(Niメッキ) |
ハンドル | フェノール樹脂 |
ICF | 70 |
A | 70 |
D | 27 |
L(長さ) | 75.5~82.5 |
▼バリアブルリークバルブ
・導入ガス流量の調節用
・オールメタル製(ベーキング450℃まで)
・超高真空対応(大気~10⁻⁸Pa 程度)
・用途:スパッタ装置や実験装置など
▼仕様
・ガスOUTLET:ICF70ポート
・ガスINLET:ICF34ポート
・調節可能最小リーク量:6.7x10E-9Pa・sec以下
※Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2Mpa時
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-8</sup> Pa |
---|---|
調整可能最小リーク量※1 | <6.7x10<sup>-9</sup>Pa・㎥/sec |
バルブ全閉時リーク量 | <6.7x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
最高温度 | 450℃ |
ボディ | SUS 304 |
シール/ガスケット材質 | WC系超硬合金/Cu合金 |
ICF | 70 |
ガスINLET側 | Φ8 |
▼ICF 回転ゼロレングス変換フランジ
・配管の口径調整用
・1枚のフランジで変換できるため省スペースで設置可能
・小径側が360°回転でき、フランジ同士の位置合わせが容易です
・ICFフランジ締結方法:ボルト締め
・ボルト穴は大径フランジがキリ穴タイプ(スルーホール)、小径フランジがタップ穴タイプ(ねじきり)です
▼以下のタイプが規格化されています
・大径側フランジサイズ:70,114,152,203,253
・小径側フランジサイズ:34,70,114,152,203
・材質:SUS304
・各種規格変換ニップルもご用意しております
▼その他
・両面固定タイプもございます
・クロス管やアダプタなど各種配管も多彩なサイズでラインアップ
・製品への追加工やフランジサイズの変更品などもご相談承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
ICF | 34 |
A | 70 |
B | 16 |
M(深さ) | 6-M4(7.5) |
T | 12.7 |
P.C.D | 58.7 |
固定・回転 | 回転 |
▼ICF トラップ
・ガスや液体の捕集、保存が可能な容器型フランジ
・フランジサイズ(ICF):34,70,114,152,203,253
・材質:SUS304
・内面底部は液だまり防止のためR付き
▼オプション
・材質変更、長さ変更、電解研磨などもご相談ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304 |
---|---|
内面処理 | バフ400(Ra1.0)相当 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
A | 70 |
C | 38 |
D | 35 |
L(長さ) | 65 |
T | 2 |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
最高温度 | 120℃ |
---|---|
リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
フランジ材質 | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
C | 10 |
L1 | 50~75 |
L2 | 152 |
ストローク | 25 mm |
送り量 | 2mm/Rev |
最小目盛 | 0.05mm |
分類 | 手動 |
動作 | 直線のみ |
最大許容推力 | 20kg |
方式 | ベローズ |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
最高温度 | 120℃ |
---|---|
リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
フランジ材質 | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
C | 8 |
L1 | 50~90 |
L2 | 170 |
ストローク | 40 mm |
送り量 | 1mm/Rev |
最小目盛 | 0.05mm |
分類 | 手動 |
動作 | 直線のみ |
最大許容推力 | 15kg |
方式 | ベローズ |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
最高温度 | 120℃ |
---|---|
リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
フランジ材質 | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
C | 10 |
L1 | 50~100 |
L2 | 190 |
ストローク | 50 mm |
送り量 | 2mm/Rev |
最小目盛 | 0.05mm |
分類 | 手動 |
動作 | 直線のみ |
最大許容推力 | 20kg |
方式 | ベローズ |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
最高温度 | 120℃ |
---|---|
リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
フランジ材質 | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
C | 8 |
L1 | 50~120 |
L2 | 253 |
ストローク | 70 mm |
送り量 | 1mm/Rev |
分類 | 手動 |
動作 | 直線のみ |
最大許容推力 | 15kg |
方式 | ベローズ |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
最高温度 | 120℃ |
---|---|
リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
フランジ材質 | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
C | 8 |
L1 | 50~150 |
L2 | 333 |
ストローク | 100 mm |
送り量 | 1mm/Rev |
最小目盛 | 0.05mm |
分類 | 手動 |
動作 | 直線のみ |
最大許容推力 | 15kg |
方式 | ベローズ |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
最高温度 | 120℃ |
---|---|
リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
フランジ材質 | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
C | 6 |
L1 | 50~130 |
L2 | 447.2 |
ストローク | 80 mm |
送り量 | 1mm/Rev(0.02μm/pulse) |
最小目盛 | 0.00002mm/pulse |
分類 | モーター |
動作 | 直線のみ |
最大許容推力 | 15kg |
方式 | ベローズ |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
最高温度 | 120℃ |
---|---|
リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
フランジ材質 | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
C | 10 |
L1 | 50 |
L2 | 125 |
最小目盛 | 5° |
分類 | 手動 |
動作 | 回転のみ |
方式 | ベローズ |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
最高温度 | 120℃ |
---|---|
リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
フランジ材質 | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
C | 15 |
L1 | 50 |
L2 | 107.5 |
最小目盛 | - |
分類 | 手動 |
動作 | 回転のみ |
最大許容推力 | 30kg(脱調35kg) |
方式 | マグネット |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
最高温度 | 120℃ |
---|---|
リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
フランジ材質 | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
C | 15 |
L1 | 50 |
L2 | 150.5 |
最小目盛 | - |
分類 | 手動 |
動作 | 回転のみ |
最大許容推力 | 60kg(脱調70kg) |
方式 | マグネット |
▼直線導入機
・ベローズシール方式
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛(mm):0.05
・ベーク耐熱:200℃
・寿命:10,000回
・モーター対応品もございます
▼回転導入機
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・最小目盛:ICF34=0.5°,ICF70=1°
・ベーク耐熱:200℃
▼直線・回転導入機(トランスファーロッド)
・ベローズシールまたはマグネットカップリング
・フランジ(ICF):34,70
・ベーク耐熱:200℃
▼その他
・製品についてご不明な点がありましたら「お問い合わせ」ボタンよりお気軽にご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
最高温度 | 120℃ |
---|---|
リークレート | <1.3x10<sup>-11</sup>Pa・㎥/sec |
フランジ材質 | SUS 304 |
RoHS2対応 | ○ |
ICF | 70 |
C | 10 |
L1 | 50~150 |
L2 | 654 |
ストローク | 100 mm |
最小目盛 | 5° |
分類 | 手動 |
動作 | 直線、回転 |
最大許容推力 | 直進/回転5kg |
方式 | マグネット |