▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
NW/KF | 16 |
L(長さ) | 53 |
作動範囲 | 51.7~54.3 |
バネ定数(N/mm) | 60.5 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
ICF | 34 |
L(長さ) | 63 |
作動範囲 | 61.7~64.3 |
バネ定数(N/mm) | 60.5 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
ICF | 70 |
L(長さ) | 56 |
作動範囲 | 54.4~57.6 |
バネ定数(N/mm) | 47.8 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
ICF | 114 |
L(長さ) | 60 |
作動範囲 | 58.4~61.6 |
バネ定数(N/mm) | 47.8 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
ICF | 152 |
L(長さ) | 61 |
作動範囲 | 59.4~62.6 |
バネ定数(N/mm) | 47.8 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
VF | 20 |
L(長さ) | 54 |
作動範囲 | 52.4~55.6 |
バネ定数(N/mm) | 47.8 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
VF | 25 |
L(長さ) | 54 |
作動範囲 | 52.4~55.6 |
バネ定数(N/mm) | 47.8 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
VF | 40 |
L(長さ) | 55 |
作動範囲 | 53.4~56.6 |
バネ定数(N/mm) | 47.8 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
VF | 50 |
L(長さ) | 55 |
作動範囲 | 53.4~56.6 |
バネ定数(N/mm) | 47.8 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
VG | 20 |
L(長さ) | 54 |
作動範囲 | 52.4~55.6 |
バネ定数(N/mm) | 47.8 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
VG | 25 |
L(長さ) | 54 |
作動範囲 | 52.4~55.6 |
バネ定数(N/mm) | 47.8 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
VG | 40 |
L(長さ) | 55 |
作動範囲 | 53.4~56.6 |
バネ定数(N/mm) | 47.8 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
VG | 50 |
L(長さ) | 55 |
作動範囲 | 53.4~56.6 |
バネ定数(N/mm) | 47.8 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
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フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
ISO-K | 63 |
L(長さ) | 57 |
作動範囲 | 55.4~58.6 |
バネ定数(N/mm) | 47.8 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
ISO-K | 80 |
L(長さ) | 57 |
作動範囲 | 55.4~58.6 |
バネ定数(N/mm) | 47.8 |
▼規格変換ベローズ
・異径、異種フランジが両端についたベローズです
・ポンプなどの既設ポートから変換継手を使わずに接続可能
・配管の長手方向の寸法調整、及び振動吸収用に使用されています
・短手方向には曲げられません
・標準仕様 : 内側 真空、外側 大気
・フランジ:ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG,ISO®-K
▼ベローズは以下のタイプが規格化されています(一覧)
・フランジ:パイプエンド,ICF,NW/KF,JIS-VF,JIS-VG
・材質:SUS,テフロン(NWのみ)
※フレキシブルチューブはこちら
▼その他
・長さ変更や継手、フランジサイズの変更も承ります。ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS304(NWのみSUS316) |
---|---|
フレキ/ベローズ | SUS 316L |
寿命 | 10000回 |
ベローズ板厚 | 0.15 |
最高温度 | 450℃ |
最低温度 | -196℃ |
RoHS2対応 | ○ |
NW/KF | 25 |
ISO-K | 100 |
L(長さ) | 57 |
作動範囲 | 55.4~58.6 |
バネ定数(N/mm) | 47.8 |
▼ビューポート フッ化バリウム(BaF2)
・ホウケイ酸ガラス/Duran®:チャンバー内の目視用
・光学用には石英やサファイアなどの材質をご用意
▼以下のタイプが規格化されています
・フランジ:NW/KF,ICF,JIS-VF,JIS-VG
・窓材:
├ホウケイ酸ガラス
├サファイア(Al2O3)
├合成石英(SiO2)
├溶融石英(SiO2)
├フッ化マグネシウム(MgF2)
├フッ化カルシウム(CaF2)
├フッ化バリウム(BaF2)
├ゲルマニウム(Ge)
├ジンクセレン(ZnSe)
└鉛ガラス
・非磁性フランジ品(チタン、SUS316L)もご用意しております
・開閉可能なビューポート(一覧)もございます
▼オプション(ICFフランジのみ)
・ビューポートカバー(一覧)
・ビューポートシャッター(一覧)
▼特注品も対応いたします
・窓材やフランジサイズの変更も承ります
・ARコート(反射防止膜)加工もご相談承ります
・レーザーが照射位置に跳ね返らないよう、窓材を斜めに取り付けることも可能です
・ページ右側の「お問い合わせ」ボタンよりご連絡ください
※ARコートのご依頼の際には使用波長を、レーザー耐性が必要な場合には使用するレーザーの詳細もご教示ください
精密洗浄のご依頼はこちらから
フランジ材質 | SUS 304L |
---|---|
窓 | フッ化バリウム |
最高温度 | 120℃ |
最低温度 | -45℃ |
NW/KF | 25 |
A | 40 |
T | 3 |
H1 | 18.5 |
V(有効径) | 20 |
▼アイソレイトバルブ
・油回転ポンプ停止時の逆流を防止
・主にポンプ吸気口に取り付けて使用します
▼仕様
・ポンプ停止時、被排気系側を自動で封止します。ポンプ側が大気ベントされ、被排気系側へのポンプ油の逆流が防止されます
・バルブの開閉には、ポンプ側で発生する真空力を利用しており、ポンプが作動していない状態ではバルブは閉まります
・バルブの操作は、付属の電磁弁への電力供給をポンプの電動機と連動させて行う方式です
▼使用方法
・本体と垂直方向のフランジをチャンバー側、側面フランジを油回転ポンプ側に接続してください(取付方向が異なる場合はバルブは作動いたしません)
・ポンプの通電動作と同期するよう接続ください
▼ご注意
・電気回路には保護のため、別途ヒューズなどを設けてください
・定格電圧の範囲内(±10%)でご使用ください
・バルブの配線は定格電圧に適合したコネクタを使用してください
・上図は、バルブとポンプの通電動作を同期すると共に、ポンプモーターの主回路で発生するサージ電圧がバルブの電磁弁を保護する回路の一例です。必要に応じて、モーターの主回路にサージキラーなどを設け、サージ電圧を軽減してください
使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-2</sup> Pa |
---|---|
リークレート | <5x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
コンダクタンス | 420 L/min(20℃空気に対する分子流領域での値) |
初回サービスまでサイクル | 30,000又は1年 |
使用可能ガス | 大気又はガス(腐食性除く) |
最高温度 | 40℃ |
最低温度 | 10℃ |
NW/KF | 25 |
定格電圧/温度 | 100 V |