フィードスルー
絶縁碍子
ビューポート
真空配管部品
真空バルブ
導入機
その他
| 使用可能圧力 | 大気圧~10<sup>-2</sup> Pa |
|---|---|
| リークレート | <5x10<sup>-7</sup>Pa・㎥/sec |
| コンダクタンス | 420 L/min(20℃空気に対する分子流領域での値) |
| 初回サービスまでサイクル | 30,000又は1年 |
| 使用可能ガス | 大気又はガス(腐食性除く) |
| 最高温度 | 40℃ |
| 最低温度 | 10℃ |